[发明专利]一种去钻污的方法在审
| 申请号： | 201410408206.8 | 申请日： | 2014-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN104244601A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 贾卫东;魏军锋 | 申请（专利权）人： | 西安三威安防科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/22 | 分类号： | H05K3/22 |
| 代理公司： | 西安亿诺专利代理有限公司 61220 | 代理人： | 康凯 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 去钻污 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种去钻污的方法，其特征在于包括如下步骤：
（1）首先用N2的等离子体清洁孔壁并同时预热刚挠板；
（2）然后用O2和CF4的混合气体产生的等离子体去除孔内钻污并与树脂化合物和玻璃纤维反应达到凹蚀的目的；
（3）最后，再用O2等离子体除去除前道处理留下的孔壁灰尘，使得孔内壁出现凹蚀效果。
2.如权利要求1所述的一种去钻污的方法，其特征在于步骤（2）中的树脂化合物包括丙烯酸树脂、挠性聚酰亚胺树脂、环氧树脂。
3.如权利要求1所述的一种去钻污的方法，其特征在于所述步骤（2）中O2和CF4的比例为1:1。
4.如权利要求1所述的一种去钻污的方法，其特征在于所述步骤（1）中预热刚挠板的温度为110℃~130℃，时间为2h~4h。
5.如权利要求1所述的一种去钻污的方法，其特征在于所述步骤（3）中孔内壁的凹蚀深度为13μm～18μm。
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