[发明专利]一种沟道刻蚀工艺的监测方法

权利要求书

1.一种沟道刻蚀工艺的监测方法，其特征在于，包括：

提供去除鳍形成开口后的衬底的质量目标值以及其容差范围；

提供衬底，在衬底上形成鳍及鳍之间的介质材料；

去除鳍，以形成开口；

获得去除鳍后的衬底的质量；

判断该质量是否在质量目标值的容差范围内。

2.根据权利要求1所述的监测方法，其特征在于，提供质量目标值的步骤具体为：测量特定产品的衬底在去除鳍形成开口后的质量，通过扫描电子显微镜分析该开口深度和/或开口内是否有残留物，确定该衬底的质量为质量目标值。

3.根据权利要求2所述的监测方法，其特征在于，提供质量容差值的步骤具体为：测量该特定产品的其他多批次衬底在去除鳍形成开口后的质量，得到去除鳍形成开口后的质量变化数据，以确定容差范围。

4.一种沟道刻蚀工艺的监测方法，其特征在于，包括：

提供去除鳍形成开口前、后的质量差目标值以及其容差范围；

提供衬底，在衬底上形成鳍及鳍之间的介质材料，获得该衬底的第一质量；

去除鳍，以形成开口，获得该衬底的第二质量；

判断第二质量与第一质量的质量差是否在质量差目标值的容差范围内。

5.根据权利要求4所述的监测方法，其特征在于，提供质量差目标值的步骤具体为：测量特定产品的衬底在去除鳍形成开口前、后的质量，通过扫描电子显微镜分析该开口深度和/或开口内是否有残留物，确定该衬底在去除鳍形成开口前、后质量差为质量差目标值。

6.根据权利要求5所述的监测方法，其特征在于，提供质量差容差值的步骤具体为：测量该特定产品的其他多批次衬底在去除鳍形成开口前、后的质量，得到去除鳍形成开口前、后的质量差变化数据，以确定容差范围。