[发明专利]芯片的进给装置

权利要求书

1.一种芯片的进给装置，具备：

进给托盘，其配设有收容芯片的收容部；

吸引单元，其从所述收容部进行吸引，并促进所述芯片向所述收容部的进给；

加振单元，其向所述进给托盘施加振动；和

控制单元，其向所述进给托盘上提供所述芯片，并在通过所述加振单元向所述进给托盘施加了振动的状态下，对通过所述吸引单元来吸引所述收容部的状态与停止吸引的状态进行周期性的切换，

所述芯片的进给装置的特征在于，构成为：

通过从所述加振单元向所述进给托盘施加的振动和所述吸引单元从所述收容部进行的吸引，将被提供至所述进给托盘上的所述芯片进给到所述收容部。

2.根据权利要求1所述的芯片的进给装置，其特征在于，

所述控制单元构成为按照以下方式进行控制：在通过所述加振单元向所述进给托盘施加的所述振动的1个周期内，至少进行1次所述吸引单元进行的所述收容部的吸引的开始与吸引的停止。

3.根据权利要求1或者2所述的芯片的进给装置，其特征在于，

所述控制单元构成为按照以下方式进行控制：在振幅最大时基于所述吸引的所述收容部内的负压为最大区域，在所述振幅最小时所述负压为最小区域。

4.根据权利要求1～3的任意一项所述的芯片的进给装置，其特征在于，

具备对所述振幅进行检测的传感器，

通过所述传感器来测量所述振幅的大小，并在所述振幅最大时所述负压为最大区域的定时，使所述吸引单元进行动作。

5.根据权利要求1～4的任意一项所述的芯片的进给装置，其特征在于，

所述芯片构成为具有长方体形状，在将厚度设为T、将宽度设为W、将长度设为L时，使通过厚度T与宽度W来规定的面即WT面朝上，并收容在所述收容部，并且，吸引口构成为形成在所述收容部的底面，且所述吸引口的开口面积为所述WT面的面积的1～30％。

6.根据权利要求5所述的芯片的进给装置，其特征在于，

所述芯片的厚度T、宽度W、长度L处于L＞W＞T的关系。

7.根据权利要求1～6的任意一项所述的芯片的进给装置，其特征在于，

进一步地，具备使所述进给托盘摇动的摇动单元。