[发明专利]蒸发源装置和蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸发源装置，包括壳体和设置在该壳体内的坩埚，其特征在于，所述蒸发源装置还包括升降机构，用于带动所述坩埚沿所述壳体的高度方向升降，所述升降机构能够带动所述坩埚上升至高于所述壳体开口的位置。

2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述升降机构包括设置在所述壳体内的伸缩部，所述坩埚设置在所述伸缩部的一端，所述伸缩部的另一端与所述壳体相连。

3.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述升降机构还包括用于为所述伸缩部提供动力的动力源。

4.根据权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述伸缩部包括伸缩杆和支撑台，所述支撑台设置在所述伸缩杆的一端，所述坩埚设置在所述支撑台上。

5.根据权利要求4所述的蒸发源装置，其特征在于，所述支撑台上设置有定位件，所述定位件用于定位所述坩埚。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的蒸发源装置，其特征在于，所述壳体的侧壁上设置有可封闭的开口。

7.根据权利要求1至5中任意一项所述的蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置还包括具有加热部的加热机构和具有第一冷却部的第一冷却机构，所述加热部设置在所述壳体内，用于对所述坩埚进行加热，所述第一冷却部设置在所述加热部和所述壳体的侧壁之间，所述壳体内还设置有具有第二冷却部的第二冷却机构，所述第二冷却部的位置低于所述第一冷却部的位置，所述升降机构能够带动所述坩埚下降至与所述第二冷却部相对应的位置。

8.根据权利要求7所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第二冷却机构的冷却能力大于所述第一冷却机构的冷却能力。

9.根据权利要求8所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一冷却部和第二冷却部内均设置有冷却剂，所述第二冷却部的容积大于所述第一冷却部的容积。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括权利要求1至9中任意一项所述的蒸发源装置。