[发明专利]热处理炉

权利要求书

1.一种热处理炉，其为对载置于承烧板的被处理物进行热处理的热处理炉，其特征在于，

所述热处理炉具备：

炉体，在其内部对所述被处理物进行热处理；

第一搬运路，其用于在外部和所述炉体之间搬运载置有所述被处理物的所述承烧板；

气体供应单元，其向所述炉体内部供应作为气氛气体的惰性气体；

加热单元，其用于使所述炉体内部的气氛温度高于外气的温度；

上方空间形成部，其设置在所述第一搬运路的铅垂上侧，并形成有仅在铅垂下侧形成开口且与该第一搬运路内连通的上方空间；

下方空间形成部，其设置在所述第一搬运路的铅垂下侧，并形成有在铅垂上侧形成开口且与该第一搬运路内连通的下方空间；及

下方空间吸引单元，其用于吸引所述下方空间。

2.根据权利要求1所述的热处理炉，其特征在于，

所述热处理炉具备第二搬运路，其为用于在所述第一搬运路和所述炉体之间搬运载置有所述被处理物的所述承烧板的搬运路，其搬运方向的长度L为100mm以上且1000mm以下。

3.根据权利要求1或2所述的热处理炉，其特征在于，

所述热处理炉具备第三搬运路，所述第三搬运路用于在外部和所述第一搬运路之间搬运载置有所述被处理物的所述承烧板，其中，

将所述承烧板在所述第三搬运路上搬运时的、所述承烧板在该第三搬运路内的铅垂上方向上的间隙的大小设定为间隙高度H时，该间隙高度H的最小值Hmin超过0mm且在50mm以下。

4.根据权利要求1或2所述的热处理炉，其特征在于，

将与所述承烧板的搬运方向垂直且与水平方向平行的方向作为左右方向，将所述承烧板在所述第一搬运路上搬运时的、从该第一搬运路的左端至所述承烧板的所述左右方向的间隙的大小为左间隙宽度W_L，并且将所述承烧板在所述第一搬运路上搬运时的、从该第一搬运路的右端至所述承烧板的所述左右方向的间隙的大小为右间隙宽度W_R时，所述左间隙宽度W_L及所述右间隙宽度W_R均为10mm以上且150mm以下的范围。

5.根据权利要求1或2所述的热处理炉，其特征在于，

所述热处理炉具备：

第二搬运路，其用于在所述第一搬运路和所述炉体之间搬运载置有所述被处理物的所述承烧板；

第二搬运单元，其具有配置在所述第二搬运路的多个第二搬运辊子，且通过该第二搬运辊子将所述承烧板向规定的搬运方向搬运；及

流通抑制构件，其用于抑制气体在所述搬运方向上相邻的所述第二搬运辊子之间的间隙以铅垂方向流通。

6.根据权利要求1或2所述的热处理炉，其特征在于，

所述热处理炉具备：

第二搬运路，其用于在所述第一搬运路和所述炉体之间搬运载置有所述被处理物的所述承烧板；

第一搬运单元，其具有配置在所述第一搬运路的多个第一搬运辊子，且通过该第一搬运辊子将所述承烧板向规定的搬运方向搬运；及

第二搬运单元，其具有配置在所述第二搬运路的多个第二搬运辊子，并且通过该第二搬运辊子将所述承烧板向所述搬运方向搬运，其中，所述多个第二搬运辊子之间的间隔比所述第一搬运辊子之间的间隔小。

7.根据权利要求1或2所述的热处理炉，其特征在于，

所述热处理炉具备：

第三搬运路，其用于在外部和所述第一搬运路之间搬运载置有所述被处理物的所述承烧板；

第三搬运单元，其具有配置在所述第三搬运路的多个第三搬运辊子，且通过该第三搬运辊子将所述承烧板向规定的搬运方向搬运；及

流通抑制构件，其用于抑制气体在所述搬运方向上相邻的所述第三搬运辊子之间的间隙以铅垂方向流通。

8.根据权利要求1或2所述的热处理炉，其特征在于，

所述热处理炉具备：

第三搬运路，其用于在外部和所述第一搬运路之间搬运载置有所述被处理物的所述承烧板；

第一搬运单元，其具有配置在所述第一搬运路的多个第一搬运辊子，且通过该第一搬运辊子将所述承烧板向规定的搬运方向搬运；及

第三搬运单元，其具有配置在所述第三搬运路的多个第三搬运辊子，并且通过该第三搬运辊子将所述承烧板向所述搬运方向搬运，其中，多个所述第三搬运辊子之间的间隔比所述第一搬运辊子之间的间隔小。