[发明专利]热处理炉

说明书

技术领域

本发明涉及一种热处理炉。

背景技术

在现有技术中，作为对被处理物进行热处理的热处理炉已知的是，具备用于进行热处理的炉体、和向炉体搬运被处理物或者从炉体搬运被处理物的搬运路的热处理炉。例如专利文献1中记载了如下一种加热装置，该加热装饰具备对被加热物进行加热的加热主体部、和向加热主体部搬运被处理物或者从加热主体部搬运被加热物的搬运路的加热装置。在该加热装置中，在搬运路设置有向其上部远离加热主体部的方向倾斜且在内部形成有空洞的外气流入阻止部。通过设置该外气流入阻止部，温度比外气的温度高的加热主体部内的气体沿着外气流入阻止部的隔壁迅速流动，从而能够抑制外气的流入。另外，还具有抑制气体向外气流出的效果。

现有技术文献

专利文献1：日本国特开2008-128544号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，专利文献1中记载的外气流入阻止部的主要目的是阻止外气的流入，抑制气氛气体向外部流出的效果不明显。另外，抑制外气流入的效果也有待进一步提高。

本发明是鉴于上述实际情况而作出的，其主要目的在于充分抑制外气流入炉体或气氛气体向外部流出的现象。

解决课题的方法

本发明的热处理炉是一种热处理炉，其为对载置于承烧板(setter)的被处理物进行热处理的热处理炉，其具备：

炉体，在其内部对所述被处理物进行热处理；

第一搬运路，其用于在外部和所述炉体之间搬运载置有所述被处理物的所述承烧板；

气体供应单元，其向所述炉体内部供应作为气氛气体的惰性气体；

加热单元，其用于使所述炉体内部的气氛温度高于外气的温度；

上方空间形成部，其设置在所述第一搬运路的铅垂上侧，并形成有在铅垂下侧形成开口且与该第一搬运路内连通的上方空间；

下方空间形成部，其设置在所述第一搬运路的铅垂下侧，并形成有在铅垂上侧形成开口且与该第一搬运路内连通的下方空间；及

下方空间吸引单元，其用于吸引所述下方空间。

在本发明的热处理炉中，向炉体供应惰性气体，炉体的气氛气体被加热成比外气高的温度。因此，从炉体向第一搬运路流出的气氛气体存在的情况下，该气氛气体容易滞留在设置于第一搬运路的铅垂上侧的上方空间。据此，抑制气氛气体穿过第一搬运路向外部流出。另外，通过气氛气体的滞留，上方空间容易形成高于炉体内部的压力的高压状态。据此，欲将从炉体内部流出的气氛气体推回炉体内部的力发挥作用，从而抑制气氛气体的流出。进一步地，通过对设置在第一搬运路的铅垂下侧的下方空间进行吸引，能够形成从上方空间经由第一搬运路而流向下方空间的气体流动。因此，该流动作为气帘(air curtain)而发挥作用，由此在外部和炉体内部之间的第一搬运路能够抑制气体的流入流出。通过以上，能够充分抑制外气流入炉体或气氛气体向外部流出。此处，第一搬运路，既可以用于将承烧板从外部搬入炉体，也可以用于将承烧板从炉体搬出至外部。另外，所述气体供应单元也可以兼做所述加热单元。例如，所述气体供应单元也可以设置成供应比外气温度高的惰性气体的单元。进一步地，所述下方空间吸引单元及所述气体供应单元以保持所述上方空间的压力高于所述炉体内部的压力的方式，设置成分别进行对所述下方空间的吸引及所述惰性气体的供应也可。这样的话，欲将从炉体内部流出的气氛气体推回炉体内部的力就变得容易发挥作用。

本发明的热处理炉也可以具备第二搬运路，其用于在所述第一搬运路和所述炉体之间搬运载置有所述被处理物的所述承烧板的搬运路，其搬运方向的长度L为100mm以上且1000mm以下。通过将第二搬运路的搬运方向长度L设定为100mm以上，能够更好地抑制炉体的气氛气体的流出。

在本发明的热处理炉中，也可以具备用于在外部和所述第一搬运路之间搬运载置有所述被处理物的所述承烧板的第三搬运路，其中，将所述承烧板在所述第三搬运路上搬运时的、所述承烧板在该第三搬运路内的铅垂上方向上的间隙的大小设定为间隙高度H时，该间隙高度H的最小值Hmin超过0mm且在50mm以下。该最小值Hmin设定得越小，气体越不容易穿过第三搬运路，因此能更好地抑制外气流入炉体或气氛气体向流出外部。