[发明专利]微机械结构元件和用于微机械结构元件的相应检查方法

权利要求书

1.微机械结构元件，其具有：

至少一个第一区域(1；1a)，所述至少一个第一区域通过一弹簧装置(2a、2b；2a'、2a”、2b'、2b”；22-25)与一第二区域(100；1b)弹性连接，其中，所述弹簧装置具有第一区段(22、23)和第二区段(24、25)；

一布置在所述弹簧装置(2a、2b)中和/或上的电阻装置(R；R1；R”；R”'；R1、R2、R0)，所述电阻装置能够在所述弹簧装置(2a、2b；2a'、2a”、2b'、2b”；22-25)损坏时至少部分被中断，并且，所述电阻装置以依次经过所述第一区段、所述第一区域和所述第二区段的方式延伸；和

一检测装置(50；50')，所述检测装置与所述电阻装置(R)电连接，用于检测所述电阻装置(R；R1；R”；R”'；R1、R2、R0)的中断和用于产生一相应的检测信号(S；S1、S2)，并且

其中，所述电阻装置(R1、R2、R0)在所述第一区段(22、23)和所述第二区段(24、25)中不同地构造并且以如下方式与所述检测装置(50；50')接线，即，所述检测装置(50；50')在所述第一区段(22、23)中的所述电阻装置(R1、R2、R0)中断时提供第一检测信号(S1)并且在所述第二区段(24、25)中的所述电阻装置(R1、R2、R0)中断时提供与第一检测信号不同的第二检测信号(S2)。

2.根据权利要求1所述的微机械结构元件，其中，所述第一区域(100)是一固定区域并且所述第二区域是一能弹性偏移的反射镜区域。

3.根据权利要求1所述的微机械结构元件，其中，所述第一区域(1a)是一能弹性偏移的驱动区域并且所述第二区域是一能弹性偏移的反射镜区域。

4.根据前述权利要求之一所述的微机械结构元件，其中，所述电阻装置(R；R1；R”；R”'；R1、R2、R0)在所述第一区域(1；1a)上延伸，从而使得所述电阻装置也能够在所述第一区域(1；1a)损坏时中断。

5.根据权利要求4所述的微机械结构元件，其中，所述电阻装置(R；R1；R”；R”'；R1、R2、R0)蛇形地在所述第一区域(1；1a)上导向。

6.根据权利要求1-3、5之一所述的微机械结构元件，其中，所述电阻装置(R；R1；R”；R”'；R1、R2、R0)在所述第一区域(1；1a)上与所述检测装置(50；50')连接。

7.根据权利要求1-3、5之一所述的微机械结构元件，其中，所述检测装置(50；50')被装置用于通过所述电阻装置(R；R1；R”；R”'；R1、R2、R0)执行温度检测。

8.根据权利要求1-3、5之一所述的微机械结构元件，其中，所述检测装置(50；50')被装置用于通过所述电阻装置(R；R1；R”；R”'；R1、R2、R0)执行光强度检测。

9.根据权利要求1-3、5之一所述的微机械结构元件，其中，所述检测装置(50；50')设计用于：将所述检测信号(S；S1、S2)无线地向外传递。

10.根据权利要求9所述的微机械结构元件，其中，将所述检测信号(S；S1、S2)无线地传递到一移动电话上。

11.用于微机械结构元件的检查方法，所述微机械结构元件具有至少一个第一区域(1；1a)，所述至少一个第一区域通过一弹簧装置(2a、2b；2a'、2a”、2b'、2b”；22-25)与一第二区域(100；1b)弹性连接，其中，所述弹簧装置具有第一区段(22、23)和第二区段(24、25)，所述检查方法具有如下步骤：

设置一布置在所述弹簧装置(2a、2b)中和/或上的电阻装置(R；R1；R”；R”'；R1、R2、R0)，所述电阻装置能够在所述弹簧装置(2a、2b；2a'、2a”、2b'、2b”；22-25)损坏时被中断，其中，所述电阻装置以依次经过所述第一区段、所述第一区域和所述第二区段的方式延伸；和

电地检测所述电阻装置(R；R1；R”；R”'；R1、R2、R0)的中断并且产生相应的检测信号(S；S1、S2)；

其中，所述电阻装置(R1、R2、R0)在所述第一区段(22、23)和所述第二区段(24、25)中不同地构造并且以如下方式与检测装置(50；50')接线，即，所述检测装置(50；50')在所述第一区段(22、23)中的所述电阻装置(R1、R2、R0)中断时提供第一检测信号(S1)并且在所述第二区段(24、25)中的所述电阻装置(R1、R2、R0)中断时提供与第一检测信号不同的第二检测信号(S2)。