[发明专利]一种多电源系、多封装形式的芯片静电放电保护方法有效
申请号: | 201410427361.4 | 申请日: | 2014-08-27 |
公开(公告)号: | CN104347621A | 公开(公告)日: | 2015-02-11 |
发明(设计)人: | 张颖;李志国;潘亮 | 申请(专利权)人: | 北京中电华大电子设计有限责任公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L23/60 |
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地址: | 100102 北京市朝阳*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电源 封装 形式 芯片 静电 放电 保护 方法 | ||
1.一种芯片多电源系、多封装形式的芯片静电放电保护方法,其特征在于,该方法利用sealring中第一层金属至顶层金属的多层宽金属线,作为多电源系芯片的ESD地线通路,增强芯片的ESD放电能力,具体如下:芯片地IO从压焊点bonding PAD处引出金属线,或芯片电源IO和输入输出从bonding PAD两侧将IO单元中的地线引出,并跳层至第一层金属至顶层金属,与sealring的第一层金属至顶层金属相连;保证sealring由第一层金属至顶层金属、P型空穴注入组成,并闭合成环,围绕芯片一周,Sealring中第一层金属至顶层金属通过各层的通孔相连,sealring中的金属线下方通过接触孔,与P型衬底连通,保证金属线的地电位与芯片地电位相同;在芯片内部,各个电源系的地电位仍通过金属连通,与sealring中的宽金属线一起作为ESD地线通路。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于该方法利用sealring中第一层金属至顶层金属多层宽金属线,作为多电源系芯片的ESD地线通路,增强芯片的ESD放电能力,将各个电源系的IO单元中的地线,通过第一层金属至顶层金属连接到sealring的多层宽金属线上,sealring中的多层宽金属线之间通过各层的通孔进行连通,以保证各层之间具有放电通路。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的