[发明专利]晶圆级包封模具设计有效
申请号: | 201410445275.6 | 申请日: | 2014-09-03 |
公开(公告)号: | CN105291344B | 公开(公告)日: | 2018-01-26 |
发明(设计)人: | 余振华;刘重希;黄晖闵;黄致凡;郑明达;陈孟泽;张博平;黄见翎 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | B29C45/02 | 分类号: | B29C45/02;B29C45/14;B29C45/26;B29C45/34;H01L21/56 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 | 代理人: | 章社杲,孙征 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶圆级包封 模具设计 | ||
1.一种用于模塑封装的装置,包括:
包封模具,包括:
顶部;和
环形边,具有环形形状,其中,所述环形边位于所述顶部的边缘的下面并且连接至所述顶部的边缘,并且所述环形边包括注入端口和排气端口;以及
模塑导向套件,被配置为插入所述注入端口内,其中,所述模塑导向套件包括具有弯曲的前边缘的前侧壁。
2.根据权利要求1所述的装置,其中,所述环形边包括面向由所述环形边围绕的内部空间的内边缘,所述环形边具有第一半径,并且所述模塑导向套件的前侧壁的弯曲的前边缘具有基本上等于所述第一半径的第二半径。
3.根据权利要求2所述的装置,其中,所述模塑导向套件被配置为在所述模塑导向套件位于所述注入端口中时,使所述弯曲的前边缘与所述环形边的内边缘对准。
4.根据权利要求1所述的装置,其中,所述模塑导向套件的前侧壁是倾斜的侧壁。
5.根据权利要求1所述的装置,其中,所述模塑导向套件的前侧壁是垂直的侧壁。
6.根据权利要求1所述的装置,其中,所述包封模具还包括:位于所述包封模具的顶部和所述环形边的连接处的突起件,并且所述突起件与所述包封模具中的将所述注入端口连接至所述排气端口的直径未对准。
7.根据权利要求1所述的装置,其中,所述模塑导向套件被配置为密闭所述注入端口。
8.根据权利要求1所述的装置,还包括:排气阻挡件,被配置为当所述排气阻挡件处于下推位置处时阻挡所述排气端口,其中,所述排气阻挡件包括面向所述包封模具的内部空间的弯曲的边缘。
9.一种用于模塑封装的装置,包括:
包封模具,包括具有环形形状的环形边,其中,所述环形边包括:
注入端口;和
排气端口,所述注入端口和所述排气端口与所述环形边的直径对准,其中,所述注入端口和所述排气端口将由所述环形边围绕的内部空间连接至所述环形边外部的空间;以及
模塑导向套件,被配置为插入所述注入端口内,所述模塑导向套件包括:
沟道,连接至所述内部空间;和
前侧壁,面向所述内部空间,所述前侧壁是弯曲的。
10.根据权利要求9所述的装置,还包括:排气阻挡件,被配置为阻挡所述排气端口,其中,所述排气阻挡件包括面向所述内部空间的弯曲的内侧壁。
11.根据权利要求10所述的装置,其中,所述排气阻挡件的内侧壁与所述环形边的内边缘对准,所述排气阻挡件的内侧壁与所述环形边的内边缘具有基本上相同的半径。
12.根据权利要求10所述的装置,其中,所述环形边的内边缘中位于所述排气端口相对两侧的部分是弯曲的。
13.根据权利要求9所述的装置,其中,所述沟道包括浅部和比所述浅部深的深部,所述深部连接至所述浅部。
14.根据权利要求9所述的装置,其中,所述包封模具还包括:
顶部,具有连接至所述顶部的圆形边缘的所述环形边;以及
突起件,位于所述包封模具的顶部与所述包封模具的环形边的连接处,其中,所述突起件未与将所述注入端口连接至所述排气端口的直径对准。
15.一种使用用于模塑封装的装置的方法,包括:
在包封模具的内表面上放置离型膜,其中,所述包封模具包括:
顶部;和
环形边,具有环形形状,所述环形边位于所述顶部的边缘的下面并且连接至所述顶部的边缘,并且所述环形边包括注入端口和排气端口;
将所述包封模具和所述离型膜放置在封装结构上方,其中,所述环形边围绕所述封装结构;以及
将模塑导向套件插入所述注入端口内,其中,所述模塑导向套件包括:
沟道,连接至由所述环形边围绕的内部空间;和
前侧壁,面向所述内部空间,其中,所述前侧壁具有与所述包封模具的环形边的内边缘对准的弯曲的前边缘。
16.根据权利要求15所述的方法,还包括:通过所述沟道将模塑材料注入所述内部空间内。
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