[发明专利]一种在湿法蚀刻中贵金属回收装置及回收方法无效
申请号: | 201410445332.0 | 申请日: | 2014-09-03 |
公开(公告)号: | CN104233303A | 公开(公告)日: | 2014-12-24 |
发明(设计)人: | 李伟华 | 申请(专利权)人: | 上海和辉光电有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C22B11/00;C22B7/00 |
代理公司: | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人: | 曾耀先 |
地址: | 201508 上海市金山区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 湿法 蚀刻 贵金属 回收 装置 方法 | ||
1.一种在湿法蚀刻中贵金属回收装置,其特征在于,包括:
用于进行吸附反应的回收容器,所述回收容器内部为空腔结构;
设置于所述回收容器上部的进水口,所述进水口用于添加贵金属废液并与所述空腔结构导通;
设置于所述回收容器顶部并与所述空腔结构导通的进料口,所述进料口用于添加原活性炭纤维以吸附所述贵金属废液中的贵金属,所述进水口通过所述空腔结构与所述进料口导通;
设置于所述回收容器顶部并与所述空腔结构导通的出水口,所述出水口用于排出经吸附过程后的废液,所述进水口及所述进料口通过所述空腔结构与所述出水口相互导通;以及
设置于所述回收容器底部并与所述空腔结构导通的出料口,所述出料口用于排出吸附贵金属后的活性炭纤维,所述进水口、所述进料口及所述出水口通过所述空腔结构与所述出料口相互导通;
所述贵金属废液中的贵金属通过所述活性炭纤维进行回收。
2.根据权利要求1所述的贵金属回收装置,其特征在于,
所述回收容器的顶部还开设有排气口,所述排气口用于排出吸附反应过程中所述贵金属废液所产生的气体,所述排气口通过所述空腔结构与所述进水口、所述进料口、所述出水口及所述出料口导通。
3.根据权利要求1所述的贵金属回收装置,其特征在于,
所述回收容器内设有:对应设置于所述出水口之前的过滤口,所述过滤口导通设置于所述空腔结构内并用于分离所述废液中所附带的少量所述活性炭纤维;所述过滤口通过过滤通道与所述出水口导通连接。
4.根据权利要求1所述的贵金属回收装置,其特征在于,
所述回收容器的底部还开设有排液口,所述排液口导通设置于所述空腔结构的底部并用于排出所述回收容器内所残留的所述废液。
5.根据权利要求1、2、3或4所述的贵金属回收装置,其特征在于,
所述贵金属废液为Ag蚀刻液,所述原活性炭纤维吸附所述Ag蚀刻液中的Ag贵金属。
6.一种基于如权利要求5所述贵金属回收装置的回收方法,其特征在于,包括以下步骤:
通过所述进料口把所述原活性炭纤维放入所述回收容器内;
通过所述进水口把所述贵金属废液放入所述回收容器内;
所述原活性炭纤维对所述贵金属废液内的贵金属进行吸附;
吸附饱和后,通过所述出水口排出所述废液;
通过所述出料口排出吸附有贵金属的所述活性炭纤维。
7.根据权利要求6所述的回收方法,其特征在于,还包括:
通过回收容器顶部的排气口排出吸附反应过程中所产生的其他气体;
在通过所述出水口之前,所述废液需先经过回收容器内的过滤口,并通过回收容器内的过滤通道流向回收容器顶部的出水口。
8.根据权利要求7所述的回收方法,其特征在于,还包括:
对所述回收容器进行维护并通过回收容器底部的排液口排出残留的所述废液。
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