[发明专利]一种在湿法蚀刻中贵金属回收装置及回收方法无效
申请号: | 201410445332.0 | 申请日: | 2014-09-03 |
公开(公告)号: | CN104233303A | 公开(公告)日: | 2014-12-24 |
发明(设计)人: | 李伟华 | 申请(专利权)人: | 上海和辉光电有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C22B11/00;C22B7/00 |
代理公司: | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人: | 曾耀先 |
地址: | 201508 上海市金山区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 湿法 蚀刻 贵金属 回收 装置 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种金属回收的装置及方法,具体涉及一种在湿法蚀刻中贵金属回收的装置及方法。
背景技术
随着科技的进步,电子产品更新换代也越来越迅速,AMOLED作为一种优秀的显示方式为人们所关注。
在AMOLED的制造过程中,会产生含有银和铟等贵金属离子的酸性蚀刻废液。目前,对贵金属的回收方法主要有电解法、置换法、吸附法、离子交换法、溶剂萃取法、还原法、硫化沉淀法等等。
针对生产中Ag离子的回收,目前常采用离子交换树脂进行铟离子富集,然后进一步提取。但对于Ag蚀刻废液中贵金属的回收难度却大了很多,在银刻蚀中所采用的蚀刻液为酸性很强的硝酸、磷酸、醋酸混合液,会对金属材质进行腐蚀,因此电解等方法不能够适用于对Ag的回收。因此需要新的方式对Ag进行回收。
传统的活性碳为粉末状或颗粒状,活性碳纤维则为纤维状,纤维上布满微孔,具有大于1000m2/g的比表面积,具有很强的物理吸附能力。活性炭的吸附除了物理吸附,还有化学吸附,活性炭由于含少量含氧和氢的还原性结构或官能团,因此具有一定的还原性,这种能力也被称作为还原吸附能力。活性碳纤维对贵金属离子具有强的还原吸附能力,可将Pd(II),Ag(I),Au(III)等离子还原为金属单质,因而可用于提取蚀刻液中的贵金属Ag。
有文献报道经过ZnCl2或H3P04活化的活性碳纤维对银离子具有更高的还原吸附容量,分别可到250mg/g和700mg/g。相比于传统的回收方法,利用改性的活性炭纤维对Ag蚀刻液进行贵金属回收,具有很高的回收效率,同时可以减少对环境造成的二次污染。
发明内容
为克服现有技术所存在的缺陷,现提供一种在湿法蚀刻中贵金属回收装置,以实现对Ag蚀刻液中Ag贵金属的回收,以降低生产成本并减少环境污染。
为实现上述目的,一种在湿法蚀刻中贵金属回收装置,包括:
用于进行吸附反应的回收容器,该回收容器内部为空腔结构;
设置于回收容器上部的进水口,进水口用于添加贵金属废液并与空腔结构导通;
设置于回收容器顶部并与空腔结构导通的进料口,进料口用于添加原活性炭纤维以对所述贵金属废液进行吸附处理来吸附所述贵金属废液中的贵金属,进水口通过空腔结构与进料口导通;
设置于回收容器顶部并与空腔结构导通的出水口,出水口用于排出经吸附过程后的废液,进水口及进料口通过空腔结构与出水口相互导通;以及
设置于回收容器底部并与所述空腔结构导通的出料口,出料口用于排出吸附贵金属后的活性炭纤维,进水口、进料口及出水口通过空腔结构与出料口相互导通;
贵金属废液中的贵金属通过活性炭纤维进行回收。
本发明贵金属回收装置的进一步改进在于,回收容器的顶部还开设有排气口,该排气口用于排出吸附反应过程中贵金属废液所产生的其他气体,排气口通过空腔结构与进水口、进料口、出水口及出料口导通。
本发明贵金属回收装置的进一步改进在于,回收容器内设有:对应设置于出水口之前的过滤口,该过滤口导通设置于空腔结构内并用于分离废液中所附带的少量活性炭纤维;过滤口通过过滤通道与出水口导通连接。
本发明贵金属回收装置的进一步改进在于,回收容器的底部还开设有排液口,该排液口导通设置于空腔结构的底部并用于排出回收容器内所残留的废液。
本发明贵金属回收装置的进一步改进在于,贵金属废液为Ag蚀刻液,原活性炭纤维吸附Ag蚀刻液中的Ag贵金属。
本发明还提供一种在湿法蚀刻中基于上述回收装置的贵金属回收方法,包括:
通过进料口把原活性炭纤维放入回收容器内;
通过进水口把贵金属废液放入回收容器内;
原活性炭纤维对贵金属废液内的贵金属进行吸附;
吸附饱和后,通过出水口排出废液;
通过出料口排出吸附有贵金属的活性炭纤维。
本发明贵金属回收方法的进一步改进在于,通过回收容器顶部的排气口排出吸附反应过程中所产生的其他气体;在通过出水口之前,废液需先经过回收容器内的过滤口,并通过回收容器内的过滤通道流向回收容器顶部的出水口;
本发明贵金属回收方法的进一步改进在于,对回收容器进行维护并通过回收容器底部的排液口排出残留的所述废液。
本发明的有益效果在于:
1)通过活性炭纤维以及回收装置实现Ag贵金属的回收,以降低生产成本,减少环境污染;
2)通过过滤口防止吸附有贵金属的活性炭纤维流失;通过排气口使贵金属回收反应过程得到更好的保证;
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