[发明专利]超精密运动平台机械谐振的抑制方法

权利要求书

1.超精密运动平台机械谐振的抑制方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

步骤一：根据运动平台的宏微耦合力学模型，建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型；

步骤二：采用自适应实数编码遗传算法辨识出步骤一建立的宏微耦合的模型的未知参数；

步骤三：根据步骤二辨识出参数的宏微耦合的模型，分别建立宏动台的机械谐振模型和微动台的机械谐振模型，再采用自适应实数编码遗传算法分别辨识出宏动台的机械谐振模型和微动台的机械谐振模型中的未知参数，获得辨识出参数的宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型；

步骤四：根据步骤三中辨识出参数的宏动台机械谐振模型的主要谐振频率点和微动台机械谐振模型的主要谐振频率点，分别获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器；

步骤五：将宏动台的4个陷波器和宏动台串联，将微动台的2个陷波器和微动台串联，完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。

2.根据权利要求1所述的超精密运动平台机械谐振的抑制方法，其特征在于，步骤一中，六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型：

Yl(s)=KflRlmls2+KelKflsUl(s)-KfvmvRls2(Rvmvs2+KevKfvs)(Rlmls2+KflKevs)Uv(s)Yv(s)=KfvRvmvs2+KevKfvsUv(s)]]>

其中，

m_v和m_l分别为微动台和宏动台的质量；

Y_v(s)和Y_l(s)分别为微动台和宏动台的位移；

U_l(s)和U_v(s)分别为直线电机和音圈电机输入的拉普拉斯变换；

K_fl和K_el分别为忽略电气瞬态响应延迟直线电机和音圈电机模型的参数；

K_ev和K_fv和分别为直线电机和音圈电机输出倒数的反馈系数；

R_l和R_v分别为直线电机和音圈电机的电阻。