[发明专利]超精密运动平台机械谐振的抑制方法

说明书

技术领域

本发明属于运动平台机械谐振的抑制领域。

背景技术

光刻机是一个涉及精密机械、精密控制、精密测量等多学科的机电一体化的高端精密制造装备，其发展受到光学性能、电机性能、测量分辨率、机械加工能力、控制系统性能等各种条件的制约，设计能够保证光刻机高速高精度的控制器是提升光刻机性能的关键。

掩膜台和硅片台作为光刻机的核心部分，都采用宏微双台气浮结构。永磁直线电机和音圈电机分别为宏微台提供动力，从而实现六自由度运动。为了优化机械结构和验证先进控制方法，需要利用系统辨识的方法获得含有谐振特性的超精密运动平台模型。

现有的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差。

发明内容

本发明的目的是为了解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题，本发明提供一种超精密运动平台机械谐振的抑制方法。

本发明的超精密运动平台机械谐振的抑制方法，所述方法包括如下步骤：

步骤一：根据运动平台的宏微耦合力学模型，建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型；

步骤二：采用自适应实数编码遗传算法辨识出步骤一建立的宏微耦合的模型的未知参数；

步骤三：根据步骤二辨识出参数的宏微耦合的模型，分别建立宏动台的机械谐振模型和微动台的机械谐振模型，再采用自适应实数编码遗传算法分别辨识出宏动台的机械谐振模型和微动台的机械谐振模型中的未知参数，获得辨识出参数的宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型；

步骤四：根据步骤三中辨识出参数的宏动台机械谐振模型的主要谐振频率点和微动台机械谐振模型的主要谐振频率点，分别获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器；

步骤五：将宏动台的4个陷波器和宏动台串联，将微动台的2个陷波器和微动台串联，完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。

步骤一中，六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型：

Yl(s)=KflRlmls2+KelKflsUl(s)-KfvmvRls2(Rvmvs2+KevKfvs)(Rlmls2+KflKevs)Uv(s)Yv(s)=KfvRvmvs2+KevKfvsUv(s)]]>