[发明专利]图案形成方法和磁记录介质的制造方法

说明书

相关申请

本申请要求以日本专利申请2014-92072号(申请日：2014年4月25日)为基础申请的优先权。本申请通过参照该基础申请而包含基础申请的所有内容。

技术领域

本发明的实施方式涉及图案形成方法和磁记录介质的制造方法。

背景技术

以数nm～数百nm的周期规则排列的微细结构，能够应用于催化剂、防反射膜、电路、磁记录介质等各种技术。要制作那样的结构的话，可以举出利用电子束和/或紫外光的绘图装置在抗蚀剂上绘制图案的方法、利用二嵌段共聚物和/或微粒的自组织化现象的方法等。

特别是如果将微粒用于图案形成，则有与使用二嵌段共聚物和/或抗蚀剂不同的优点。由无机物形成的微粒，具有与有机物不同的蚀刻耐性，因此通过适当选择形成微粒的材料，能够使在接下来的过程中的蚀刻选择比、生长选择比成为优选的值。

但是，在现有技术中，难以使由所希望的材料形成的微粒具有一定间隔地单层排列于基板上。为了微粒的规则排列，需要在微粒中混合高粘度的粘度调整剂。但是，例如Fe微粒的情况下，在混合了粘度调整剂的时刻粒子凝聚，涂布本身变得困难。另外，能够在Au粒子的周围以聚苯乙烯类为保护基进行取代，但在这样的方法中存在难以通过旋涂而使其最密排列的问题。

发明内容

本发明的实施方式，提供一种能够形成面内均匀性良好的周期性图案的图案形成方法和磁记录介质的制造方法。

根据实施方式，能够提供一种图案形成方法，该方法包括：

在基板上，向具有表面极性与该基板相近的第1保护基、且至少在表面具有选自铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、锌、钇、锆、锡、钼、钽、钨、金、银、钯、铜、铂、及其氧化物中的材料的微粒添加第2保护基和第2溶剂，调制第2分散液的工序；

在该第2分散液中用该第2保护基修饰具有该第1保护基的微粒，形成具有该第1保护基和第2保护基的微粒的工序；

向包含具有该第1保护基和第2保护基的微粒的分散液添加粘度调整剂，调制该微粒涂布液的工序；

涂布该微粒涂布液，在上述基板上形成微粒层的工序。

附图说明

图1是表示采用实施方式涉及的方法能够制成的周期性图案的例子的图。

图2是表示采用实施方式涉及的方法能够做成的周期性图案的例子的图。

图3是将能够应用实施方式涉及的磁记录介质的磁记录再生装置的一例部分拆解的立体图。

图4是表示第1实施方式中所使用的周期性图案的形成方法的一例的流程图。

图5(a)～(d)是表示形成第1实施方式涉及的磁记录介质的工序的概略性的截面图。

图6是表示第1实施方式中所使用的周期性图案的形成方法的另一例的流程图。

图7(a)～(d)是表示第1实施方式涉及的磁记录介质的制造工序的变形例的概略性的截面图。

图8(a)～(e)是表示形成第2实施方式涉及的磁记录介质的工序的概略性的截面图。

图9(a)～(e)是表示形成第2实施方式涉及的磁记录介质的工序的另一例的概略性的截面图。

具体实施方式

以下对实施方式进行说明。

根据第1实施方式，能够提供一种磁记录介质的制造方法，该制造方法的特征在于，具备：

在基板上，向具有表面极性与基板相近的第1保护基、且至少在表面具有选自铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、锌、钇、锆、锡、钼、钽、和钨、金、银、钯、铜、铂、及其氧化物中的材料的微粒添加第2保护基和第2溶剂，调制第2分散液的工序；

在该第2分散液中用该第2保护基修饰具有该第1保护基的微粒，形成具有该第1保护基和第2保护基的微粒的工序；

向包含具有该第1保护基和第2保护基的微粒的分散液添加粘度调整剂，调制微粒涂布液的工序；

涂布微粒涂布液，在基板上形成单层的微粒层，形成由微粒构成的周期性图案的工序；以及

在周期性图案上形成磁记录层的工序。