[发明专利]对高分辨率数字编码激光扫描器的优化以进行精细特征标记

权利要求书

1.一种方法，包括：

接收在至少一个计算机可读存储介质中存储的图案说明，所述图案说明包括对与扫描向量相关联的至少一个图案特征的限定，所述扫描向量与激光束偏转角度相关联；并且

基于所述图案说明，使用20比特数字激光扫描器将激光束引导在基板的固定扫描区域之上，其中以小于激光束直径的1/20的横向位移分辨率将所述激光束引导在所述固定扫描区域之上。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述固定扫描区域的面积至少是一平方米。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述横向位移分辨率小于1μm。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述固定扫描区域为方形或圆形。

5.如权利要求4所述的方法，进一步包括：将所述激光束引导在位于所述固定扫描区域中的基板之上，其中选择激光束功率、脉冲能量、脉冲重复率和激光束直径中的至少一个以便处理所述基板。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述横向位移分辨率小于0.5μm。

7.如权利要求6所述的方法，其中所述固定扫描区域为方形并且具有至少四分之一平方米的面积。

8.如权利要求1所述的方法，其中引导所述激光束包括：使用多点外推并且取平均以引导所述激光束。

9.一种方法，包括：

选择激光束直径；

将待扫描的基板置于与所选择的激光束直径相关联的扫描平面处；

通过使用20比特数字激光扫描器相对于所述基板扫描具有所选择的激光束直径的激光束将所述基板暴露于所述激光束，其中以对应于小于所述激光束直径的1/10的角扫描增量在所述扫描平面上扫描所述激光束。

10.如权利要求9所述的方法，其中以对应于小于所述激光束直径的1/100的角扫描增量在所述扫描平面上扫描所述激光束。

11.如权利要求9所述的方法，其中以对应于小于所述激光束直径的1/1000的角扫描增量在所述扫描平面上扫描所述激光束。

12.如权利要求9所述的方法，其中所选择的激光束直径在10μm与100μm之间。

13.如权利要求9所述的方法，其中相对于所述基板扫描所述激光束包括：在所述基板的固定扫描区域之上扫描所述激光束，其中所述固定扫描区域至少为1平方米。

14.一种装置，包括：

激光器，其被配置为产生处理束；

光学系统；以及

扫描控制器，其被配置为接收被限定为多个扫描向量的扫描图案并且被配置为控制所述光学系统来以预定束直径将所述处理束引导到扫描区域；

其中所述扫描控制器被配置为控制所述光学系统以使用20比特数字激光扫描器相对于所述扫描区域扫描所述处理束以便产生暴露的扫描向量，使得所述暴露的扫描向量和期望的扫描向量之间的横向偏差小于所述预定束直径的1/10。

15.如权利要求14所述的装置，其中所述扫描区域为矩形并且所述横向偏差小于扫描区域长度的1/10⁵。

16.如权利要求14所述的装置，其中所述扫描区域为矩形并且所述横向偏差小于扫描区域长度的1/10⁶。

17.如权利要求14所述的装置，其中所述扫描控制器将扫描控制信号耦合到所述光学系统，使得所述扫描控制信号在至少0.0015％之内对应于所述扫描向量。

18.如权利要求14所述的装置，其中所述扫描控制器将扫描控制信号耦合到所述光学系统，使得所述扫描控制信号在至少0.0008％之内对应于所述扫描向量。

19.如权利要求14所述的装置，其中所述扫描控制器将扫描控制信号耦合到所述光学系统，使得所述扫描控制信号在至少0.0004％之内对应于所述扫描向量。

20.如权利要求14所述的装置，其中所述扫描控制器将扫描控制信号耦合到所述光学系统，使得所述扫描控制信号在至少0.0001％之内对应于所述扫描向量。