[发明专利]对高分辨率数字编码激光扫描器的优化以进行精细特征标记

说明书

相关申请的交叉引用

本申请是均在2013年9月18日递交的美国专利申请No.14/030,799和PCT申请No.PCT/US2013/060470的部分继续申请，该美国专利申请和PCT申请二者都要求在2013年5月2日递交的美国临时专利申请No.61/818,881和在2013年2月21日递交的美国临时专利申请No.61/767,420的优先权。

本申请是在2014年2月21日递交的PCT申请No.PCT/US2014/017841的部分继续申请，该PCT申请要求在2013年5月2日递交的美国临时专利申请No.61/818,881、在2013年2月21日递交的美国临时专利申请No.61/767,420、以及在2013年9月9日递交的美国临时专利申请No.61/875,679的优先权。

本申请是在2014年2月21日递交的PCT申请No.PCT/US2014/017836的部分继续申请，该PCT申请要求在2013年9月18日递交的美国专利申请No.14/030,799、在2013年5月2日递交的美国临时专利申请No.61/818,881、以及在2013年2月21日递交的美国临时专利申请No.61/767,420的权益。

本申请要求在2013年9月9日递交的美国临时专利申请No.61/875,679的权益。

由此，通过援引将在先申请PCT/US2013/060470、PCT/US2014/017836、PCT/US2014/017841、No.14/030,799、No.61/818,881、No.61/767,420和No.61/875,679的全文并入本文中。

技术领域

本公开内容总体上涉及激光构图，并且更具体地，本公开内容涉及对高分辨率数字编码激光扫描器的优化以实现精细特征标记(fine feature marking)。

背景技术

对更小和更便携的计算设备的强烈需求已经促使了在许多对应领域中的实质性创新，包括用于智能手机和平板计算机的触摸屏。然而，在接触式传感器构图和印刷电子设备的领域中，仍然有很大的改进空间。包括光刻、丝网印刷和激光处理在内的现有技术具有各种缺陷，这些缺陷部分地是由于所需要的处理步骤的数量以及在各种处理步骤之间切换所消耗的成本和时间所造成的。除了与各种处理步骤相关联的成本以外，光刻和丝网印刷技术含有许多缺陷，包括增加了与昂贵的消耗品和有毒废物相关联的成本。常规的激光处理技术也具有许多缺陷。令人遗憾的是，现有技术还没有提出更加有效的方法和系统来处理印刷电子设备和接触式传感器。相应地，仍然存在对用于处理这些设备而没有伴随缺陷的改进方法和系统的需求。

发明内容

本公开内容旨在通过提供改变基板的表面的导电率而不会烧蚀其材料的激光过程形式的本发明来满足上述需求。因此，根据本公开内容的一个方面，提供了一种用于处理透明基板的方法，所述方法包括以下步骤：生成至少一个激光脉冲，所述至少一个激光脉冲具有为将在所述透明基板上设置的导电层非烧蚀地改变为非导电特征而选定的激光参数；以及将所述脉冲引导到所述导电层。

在一些实施例中，所述激光参数包括小于大约200ps的脉冲长度和小于大约1.5J/cm²的脉冲能量密度(pulse fluence)。在一些实施例中，通过改变基板相对于入射脉冲的位置来使脉冲的光斑尺寸在5到100μm的范围内变化。在一些实施例中，所述透明基板包括在所述基板的与所述导电层相对的表面上设置的保护膜，并且在对所述导电层的非烧蚀处理期间不去除所述保护膜。在一些实施例中，所述透明基板由柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯材料制成。在一些实施例中，对于观察者的肉眼而言，与相邻的未被处理的导电层相比，非导电特征在视觉上是不可区分的，或者非导电特征具有非常低的可见度。在一些实施例中，脉冲经过透明基板被引导到导电层。在一些实施例中，导电层包括银纳米线。在一些实施例中，在利用激光脉冲进行处理之后，所述导电层的表面粗糙度基本不变。在一些实施例中，通过选择性氧化机制，在被处理的区域中，所述导电层变为不导电。