[发明专利]一种LCOS微显示驱动面板制备方法

权利要求书

1.一种LCOS微显示驱动面板制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

硅衬底及集成电路器件制备；

通过等离子增强化学气相淀积PECVD方法生长介质；

对所述介质进行化学机械抛光CMP；

铝布线步骤；

刻通孔；

溅射Ti/TiN和钨，反刻钨，形成钨塞；

制备镜面反射电极；

制备薄盒，灌装液晶。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述方法还包括：键合引出电路管脚以及成品测试的步骤。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述镜面反射电极通过像素表面蒸发形成。

4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述镜面反射电极的制备材料为银。

5.如权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述制备镜面反射电极的步骤具体为依次进行光刻、蒸银、剥离银。

6.如权利要求1-5任一项所述的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下工艺步骤：

(1)硅衬底及集成电路器件制备；

(2)PECVD(等离子增强化学气相淀积)方法生长介质一；

(3)CMP(化学机械抛光)，保证硅片表面平整度；

(4)光刻并刻蚀接触孔；

(5)溅射铝并光刻、刻蚀，形成一铝布线；

(6)PECVD介质二；

(7)CMP；

(8)刻一次通孔；

(9)二铝布线；

(10)PEECVD介质三；

(11)CMP；

(12)刻二次通孔。

(13)溅射Ti/TiN和钨，反刻钨，形成钨塞；

(14)蒸银；

(15)剥离银，形成银反射电极；

(16)制备薄盒，灌装液晶；

(17)键合引出电路管脚；

(18)成品测试。