[发明专利]玻璃基板传递系统及其机械手

权利要求书

1.一种机械手，其特征在于，包括：

基板叉，用于叉取玻璃基板；

移动组件，与所述基板叉连接，用于使得所述基板叉在工作空间内移动；

真空吸盘，设于所述基板叉上，用于吸取所述玻璃基板，所述真空吸盘设有流体回路，所述流体回路内装有冷却流体，以对所述真空吸盘进行散热。

2.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述真空吸盘为一圈结构或同心设置的多圈结构。

3.根据权利要求2所述的机械手，其特征在于，所述流体回路设于所述圈结构的内部，或者所述流体回路设于所述圈结构之间。

4.根据权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述机械手还包括散热组件，所述散热组件设于所述基板叉、所述移动组件或所述真空吸盘的侧边，用于在所述真空吸盘受热且非吸持所述玻璃基板时移动至所述真空吸盘上方，以对所述真空吸盘进行散热。

5.根据权利要求4所述的机械手，其特征在于，所述散热组件包括依次连接的气体喷嘴、气管以及气泵，所述气体喷嘴用于向所述真空吸盘喷射常温洁净气体或低温洁净气体，其中，所述气体喷嘴为一个，所述一个气体喷嘴移动至所述真空吸盘的中间上方向所述真空吸盘喷射常温洁净气体或低温洁净气体；或者

所述气体喷嘴为多个，所述多个气体喷嘴移动至围绕所述真空吸盘向所述真空吸盘喷射常温洁净气体或低温洁净气体。

6.一种玻璃基板传递系统，其特征在于，包括：

高温炉及其他制程机台；

基板叉，用于叉取玻璃基板；

移动组件，与所述基板叉连接，用于使得所述基板叉在工作空间内移动；

真空吸盘，设于所述基板叉上，用于吸取所述玻璃基板，所述真空吸盘设有流体回路，所述流体回路内装有冷却流体，以对所述真空吸盘进行散热。

7.根据权利要求6所述的玻璃基板传递系统，其特征在于，所述真空吸盘为一圈结构或同心设置的多圈结构。

8.根据权利要求7所述的玻璃基板传递系统，其特征在于，所述流体回路设于所述圈结构的内部，或者所述流体回路设于所述圈结构之间。

9.根据权利要求6所述的玻璃基板传递系统，其特征在于，所述玻璃基板传递系统还包括散热组件，所述散热组件设于所述高温炉、所述其他制程机台、所述基板叉、所述移动组件或所述真空吸盘的侧边，用于在所述真空吸盘受热且非吸持所述基板时移动至所述真空吸盘上方，以对所述真空吸盘进行散热。

10.根据权利要求9所述的玻璃基板传递系统，其特征在于，所述散热组件包括依次连接的气体喷嘴、气管以及气泵，所述气体喷嘴用于向所述真空吸盘喷射常温洁净气体或低温洁净气体，其中，所述气体喷嘴为一个，所述一个气体喷嘴移动至所述真空吸盘的中间上方向所述真空吸盘喷射常温洁净气体或低温洁净气体；或者

所述气体喷嘴为多个，所述多个气体喷嘴移动至围绕所述真空吸盘向所述真空吸盘喷射常温洁净气体或低温洁净气体。