[发明专利]玻璃基板传递系统及其机械手

说明书

技术领域

本发明涉及液晶显示器制造技术领域，具体涉及一种机械手，还涉及一种玻璃基板传递系统。

背景技术

LCD产线皆会配置机械手，机械手经常需要在高温炉与其它制程机台之间往返作业，机械手很容易在高温炉作业中受热导致温度上升，若此时立即去其他制程机台作业，很可能会因机械手过热的高温而影响产品质量，导致玻璃基板亮度不均匀，造成各种痕迹的现象。

请参阅图1，图1是机械手位于高温炉内的工作示意图。

其中，高温炉310内部温较高，机械手100伸入高温炉310作业时，随时间的延长温度逐渐升高。

请一并参阅图2和图3，图2是机械手搬运玻璃基板的工作示意图，图3是图2所示的机械手的侧面结构示意图。

在多数情况下，机械手100从高温炉310中退出后，通常是尚未降温就进行玻璃基板200的搬运工作，此时，机械手100上的真空吸盘130会将高温传给玻璃基板200，导致玻璃基板200上产生坏点，影响产品质量。

发明内容

本发明提供一种玻璃基板传递系统及其机械手，能够解决现有技术中机械手会导致玻璃基板上产生坏点，影响产品质量的问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是提供一种机械手，包括：

基板叉，用于叉取玻璃基板；

移动组件，与所述基板叉连接，用于使得所述基板叉在工作空间内移动；

真空吸盘，设于所述基板叉上，用于吸取所述玻璃基板，所述真空吸盘设有流体回路，所述流体回路内装有冷却流体，以对所述真空吸盘进行散热。

根据本发明一优选实施例，所述真空吸盘为一圈结构或同心设置的多圈结构。

根据本发明一优选实施例，所述流体回路设于所述圈结构的内部，或者所述流体回路设于所述圈结构之间。

根据本发明一优选实施例，所述机械手还包括散热组件，所述散热组件设于所述基板叉、所述移动组件或所述真空吸盘的侧边，用于在所述真空吸盘受热且非吸持所述玻璃基板时移动至所述真空吸盘上方，以对所述真空吸盘进行散热。

根据本发明一优选实施例，所述散热组件包括依次连接的气体喷嘴、气管以及气泵，所述气体喷嘴用于向所述真空吸盘喷射常温洁净气体或低温洁净气体，其中，所述气体喷嘴为一个，所述一个气体喷嘴移动至所述真空吸盘的中间上方向所述真空吸盘喷射常温洁净气体或低温洁净气体；或者

所述气体喷嘴为多个，所述多个气体喷嘴移动至围绕所述真空吸盘向所述真空吸盘喷射常温洁净气体或低温洁净气体。

为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是提供一种玻璃基板传递系统，包括：

高温炉及其他制程机台；

基板叉，用于叉取玻璃基板；

移动组件，与所述基板叉连接，用于使得所述基板叉在工作空间内移动；

真空吸盘，设于所述基板叉上，用于吸取所述玻璃基板，所述真空吸盘设有流体回路，所述流体回路内装有冷却流体，以对所述真空吸盘进行散热。

根据本发明一优选实施例，所述玻璃基板传递系统还包括散热组件，所述散热组件设于所述高温炉、所述其他制程机台、所述基板叉、所述移动组件或所述真空吸盘的侧边，用于在所述真空吸盘受热且非吸持所述基板时移动至所述真空吸盘上方，以对所述真空吸盘进行散热。

本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明提供的玻璃基板传递系统及其机械手及时对真空吸盘进行降温，避免因真空吸盘过热影响产品质量，提升了产品良率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：

图1是机械手位于高温炉内的工作示意图；

图2是机械手搬运玻璃基板的工作示意图；

图3是图2所示的机械手的侧面结构示意图；

图4是本发明一优选实施例的机械手的简化结构示意图；

图5是图4所示的机械手的一种工作状态示意图；

图6是图4所示的机械手的另一种工作状态示意图；

图7是图4所示的机械手的局部放大图；

图8是本发明另一优选实施例的机械手的简化结构示意图；

图9是本发明另一优选实施例的机械手的简化结构示意图。

具体实施方式