[发明专利]一种利用超声波空蚀加工平板表面微坑的方法

权利要求书

1.一种利用超声波空蚀加工平板表面微坑的方法，其特征在于一种利用超声波空蚀加工平板表面微坑的方法是按以下步骤完成的：

根据加工件的待加工面的大小，选取声发射平板，声发射平板通过垫片与加工件的待加工面形成窄间隙，得到装配件，再将装配件浸没在水槽中，水面高出加工件的待加工面，然后将超声波变幅杆加载到声发射平板表面上，设置超声波变幅杆作用模式，超声波变幅杆振动频率为15kHz～30kHz，振幅为5μm～50μm，作用时间为20s～600s，启动超声波设备，超声波作用完成后，即完成利用超声波空蚀加工平板表面微坑的方法；

所述的垫片为多个，所有垫片沿待加工面均匀排布；所述的声发射平板与待加工表面的间隙大小为h，即垫片的厚度值。

2.根据权利要求1所述的一种利用超声波空蚀加工平板表面微坑的方法，其特征在于所述的声发射平板为钛合金材质，厚度为3mm～6mm。

3.根据权利要求1所述的一种利用超声波空蚀加工平板表面微坑的方法，其特征在于所述的垫片与加工件的待加工面同材质；所述的垫片直径为Ф2mm～5mm，所述的垫片厚度为h＝0.1mm～1.0mm。

4.根据权利要求1所述的一种利用超声波空蚀加工平板表面微坑的方法，其特征在于所述的水面高出加工件的待加工面的高度为L＝h+(0.2～1.0)mm。

5.根据权利要求1所述的一种利用超声波空蚀加工平板表面微坑的方法，其特征在于所述的超声波变幅杆作用模式为单级超声波变幅杆作用模式、双极超声波变幅杆作用模式或多级超声波变幅杆作用模式。

6.根据权利要求5所述的一种利用超声波空蚀加工平板表面微坑的方法，其特征在于所述的单级超声波变幅杆作用模式的待加工面积不超过9×10⁴mm²；所述的双极超声波变幅杆作用模式的待加工面积为9×10⁴mm²～18×10⁴mm²；所述的多极超声波变幅杆作用模式的待加工面积超过18×10⁴mm²。

7.根据权利要求5所述的一种利用超声波空蚀加工平板表面微坑的方法，其特征在于当所述的超声波变幅杆作用模式为单级超声波变幅杆作用模式，所述的超声波变幅杆为一个，超声波变幅杆设置在声发射平板表面的中央位置；当所述的超声波变幅杆作用模式为双极超声波变幅杆作用模式，所述的超声波变幅杆为两个，两个超声波变幅杆均匀排布在声发射平板表面上；当所述的超声波变幅杆作用模式为多极超声波变幅杆作用模式，所述的超声波变幅杆为多个，多个超声波变幅杆均匀排布在声发射平板表面上。