[发明专利]一种具有绝缘防呆装置的PVD机台铝室的HTHU加热器

权利要求书

1.一种具有绝缘防呆装置的PVD机台铝室的HTHU加热器，在PVD机台铝室中，金属升降模块通过金属升降环及金属升降杆升降金属HTHU加热器，金属压环将晶圆固定在金属HTHU加热器上，机台中通过以下部件保证HTHU加热器绝缘：铁氟龙隔热盘、陶瓷隔热环、陶瓷隔热片以及陶瓷隔热块，其中，铁氟龙隔热盘和陶瓷隔热环位于金属腔体壁和金属HTHU加热器之间，保证加热器和金属腔体壁之间绝缘；陶瓷隔热块位于金属升降环与金属升降模块之间，保证金属升降环与金属升降模块之间绝缘；陶瓷隔热片位于金属升降环与金属螺丝之间，保证金属升降环与金属螺丝之间绝缘，其特征在于，

所述陶瓷隔热片的螺丝孔处具有一圈圆柱形凸起，该凸起为中空结构，其中空部分与陶瓷隔热片上部的螺丝孔形成内径一致的贯通孔。

2.根据权利要求1所述的HTHU加热器，其特征在于，陶瓷隔热片的外部轮廓是圆形或方形，其外部尺寸大于金属螺丝的螺帽。

3.根据权利要求1所述的HTHU加热器，其特征在于，所述圆柱形凸起的高度与金属升降环的厚度一致。

4.根据权利要求1所述的HTHU加热器，其特征在于，所述贯通孔内径取决于金属螺丝的直径。