[发明专利]一种具有绝缘防呆装置的PVD机台铝室的HTHU加热器

说明书

技术领域

本发明涉及一种具有绝缘防呆装置的PVD机台铝室的HTHU加热器，具体地，涉及用于溅射机台的升降环的绝缘防呆设计。

背景技术

AMAT(美国应用材料公司)PVD(物理气相沉积)机台的铝室(Al Chamber)当前使用高温高均匀度加热器(HTHU heater)，在使用过程中，需要保证HTHU heater的升降杆与腔体壁保持绝缘。

然而，如图2和3所示，现有技术的绝缘设计中没有防呆装置，因此在安装过程中很容易造成加热器接地，从而导致晶圆温度升高，铝熔融后会粘在金属压环上，因此，在传送过程中，因晶圆的掉落时机不同而使其在机器手臂上的位置不固定，进而导致晶圆位置偏移。

因此，需要在绝缘设计中增加防呆装置，以降低因加热器接地造成的铝粘连，进而降低由此引起的晶圆位置偏移导致的报废问题。

发明内容

针对现有技术中存在的缺陷和不足，本发明的目的是提供一种具有绝缘防呆装置的PVD机台铝室的HTHU加热器。本发明的这一目的通过以下技术方案实现：

一种具有绝缘防呆装置的PVD机台铝室的HTHU加热器，在PVD机台铝室中，金属升降模块通过金属升降环及金属升降杆升降金属HTHU加热器，金属压环将晶圆固定在金属HTHU加热器上，机台中通过以下部件保证HTHU加热器绝缘：铁氟龙隔热盘、陶瓷隔热环、陶瓷隔热片以及陶瓷隔热块，其中，铁氟龙隔热盘和陶瓷隔热环位于金属腔体壁和金属HTHU加热器之间，保证加热器和金属腔体壁之间绝缘；陶瓷隔热块位于金属升降环与金属升降模块之间，保证金属升降环与金属升降模块之间绝缘；陶瓷隔热片位于金属升降环与金属螺丝之间，保证金属升降环与金属螺丝之间绝缘，具体地，陶瓷隔热片的螺丝孔处具有一圈圆柱形凸起，该凸起为中空结构，其中空部分与陶瓷隔热片上部的孔形成内径一致的贯通孔。

进一步地，陶瓷隔热片的外部轮廓可以是圆形或方形，其外部尺寸大于金属螺丝的螺帽。

进一步地，所述圆柱形凸起的高度与金属升降环的厚度一致。

进一步地，所述贯通孔内径取决于金属螺丝的直径。

本发明的绝缘防呆设计可以有效防止加热器接地，即使在安装或使用过程中金属螺丝位置稍微偏移，也不会导致加热器接地，从而有效防止铝熔融后粘连晶圆，有效降低晶圆位置偏移，减少因晶圆位置偏移引起的报废问题。

下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。对于所属技术领域的技术人员而言，从对本发明的详细说明中，本发明的上述和其他目的、特征和优点将显而易见。

附图说明

图1是PVD机台HTHU铝室结构图；

图2是现有技术中绝缘设计的安装使用图；

图3是现有技术中绝缘设计的放大图；

图4是本发明的绝缘防呆设计的安装使用图；

图5是本发明的绝缘防呆设计的放大图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

图1为PVD机台铝室的HTHU加热器的结构示意图。其中金属压环1将晶圆2固定在金属HTHU加热器3上，机台中保证HTHU加热器3绝缘的部件有铁氟龙隔热盘8、陶瓷隔热环7、陶瓷隔热片12以及陶瓷隔热块13，铁氟龙隔热盘8和陶瓷隔热环7位于金属腔体壁6和金属HTHU加热器3之间，保证加热器3和金属腔体壁6之间绝缘。金属升降模块14通过金属升降环4及金属升降杆10升降金属HTHU加热器3，而在使用过程中同样需保证金属升降杆10与金属腔体壁6绝缘。而在现有技术中，机台的使用过程中金属升降环4极易发生接地。如图2所示，陶瓷隔热块13位于金属升降环4与金属升降模块14之间，保证金属升降环4与金属升降模块14之间绝缘，陶瓷隔热片12位于金属升降环4与金属螺丝11之间，保证金属升降环4与金属螺丝11之间绝缘，如图3所示，陶瓷隔热片12是环形结构，其仅仅能够保证金属螺丝11的上部与金属升降环4绝缘，而在使用过程中，只要金属升降环4稍微偏移，就会与金属螺丝11接触，从而造成金属升降环4接地，金属升降环4接地后，通过金属升降杆10及金属升降杆帽9导致金属HTHU加热器3接地，加热器3接地后导致晶圆2温度升高，铝熔融后就会粘在金属压环1上，在传送过程中，晶圆2掉落的时机不能确定，因此导致晶圆2位置偏移，从而引起晶圆报废问题。