[发明专利]故障检测系统以及故障检测方法有效
申请号: | 201410478109.6 | 申请日: | 2014-09-18 |
公开(公告)号: | CN104465437B | 公开(公告)日: | 2017-07-14 |
发明(设计)人: | 田中雅人 | 申请(专利权)人: | 阿自倍尔株式会社 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所31210 | 代理人: | 肖华 |
地址: | 日本东京都千代田*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 故障 检测 系统 以及 方法 | ||
1.一种故障检测系统,其特征在于,具有:
操作量计算单元,所述操作量计算单元基于设定值SP和控制量PV计算出操作量MV并输出;
设定值操作单元,所述设定值操作单元用于根据操作者的操作对所述设定值SP进行设定变更;
频率信息处理单元,所述频率信息处理单元对示出利用该设定值操作单元进行的设定值SP的变更的频率的操作频率信息进行总计并保持;
重置单元,所述重置单元在从外部接收到重置信号时,将保持在所述频率信息处理单元中的操作频率信息重置为零;
警报输出单元,所述警报输出单元在所述操作频率信息的值超过预先规定的阈值时,输出警报;
频率信息取得单元,所述频率信息取得单元以预先规定的间隔取得保持在所述频率信息处理单元中的操作频率信息;
重置信号发送单元,所述重置信号发送单元在所述操作频率信息的取得后将所述重置信号发送至所述重置单元;
频率信息履历存储单元,所述频率信息履历存储单元对由所述频率信息取得单元取得的操作频率信息进行存储;以及
判定单元,所述判定单元在最新的操作频率信息的值相对于存储在该频率信息履历存储单元中的过去的任意的操作频率信息的值的增加量超过预先规定的阈值时,输出警报。
2.如权利要求1所记载的故障检测系统,其特征在于,
所述操作频率信息是以下几项中的至少一项:
变更频率信息,所述变更频率信息示出所述设定值SP的变更的频率;
再变更频率信息,所述再变更频率信息示出在所述设定值SP的变更进行后的经过时间在规定时间以下时、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的频率;以及反方向变更频率信息,所述反方向变更频率信息示出在所述设定值SP的变更进行后的经过时间在规定时间以下时、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的频率,且该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更。
3.如权利要求1所记载的故障检测系统,其特征在于,
所述操作频率信息是以下几项中的至少一项:
再变更频率信息,所述再变更频率信息示出在所述设定值SP的变更进行后所述控制量PV达到变更后的设定值SP之前、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的频率;以及
反方向变更频率信息,所述反方向变更频率信息示出在所述设定值SP的变更进行后所述控制量PV达到变更后的设定值SP之前、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的频率,且该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更。
4.一种故障检测系统,其特征在于,具有:
操作量计算单元,所述操作量计算单元基于设定值SP和控制量PV计算出操作量MV并输出;
设定值操作单元,所述设定值操作单元用于根据操作者的操作对所述设定值SP进行设定变更;
累计信息处理单元,所述累计信息处理单元对示出该设定值操作单元变更设定值SP的变更幅度的累计的操作累计信息进行总计并保持;以及
重置单元,所述重置单元在从外部接收到重置信号时,将保持在所述累计信息处理单元中的操作累计信息重置为零;
警报输出单元,所述警报输出单元在所述操作累计信息的值超过预先规定的阈值时,输出警报;
累计信息取得单元,所述累计信息取得单元以预先规定的间隔取得保持在所述累计信息处理单元中的操作累计信息;
重置信号发送单元,所述重置信号发送单元在所述操作累计信息的取得后将所述重置信号发送至所述重置单元;
累计信息履历存储单元,所述累计信息履历存储单元对由所述累计信息取得单元取得的操作累计信息进行存储;以及
判定单元,所述判定单元在最新的操作累计信息的值相对于存储在该累计信息履历存储单元中的过去的任意的操作累计信息的值的增加量超过预先规定的阈值时,输出警报。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造