[发明专利]一种基于小采样系统的晶圆量测采样方法

权利要求书

1.一种基于小采样系统的晶圆量测采样方法，其特征在于，根据加工批次于当前完成的加工工艺步骤的信息对所述加工批次进行分类，并通过一预置规则确定所述加工批次是否为有价值批次，还包括以下步骤：

步骤1、判断当前到达量测站点的所述加工批次的类型是否第一次到达所述量测站点，如果否，则转至步骤5执行；

步骤2、判断所述加工批次到达时间之后的第一参考时间间隔内是否有所述有价值批次到达，如果否，则转至步骤5执行；

步骤3、判断所述加工批次到达时间之前的第二参考时间间隔内是否有所述有价值批次到达，如果否，则转至步骤5执行；

步骤4、新建一分组，使新建的分组对应所述加工批次的类型，将所述加工批次加入新建的分组，对所述加工批次中的晶圆添加放弃当前量测标识，转至步骤1执行；

步骤5、通过一小采样系统对所述加工批次进行分组，并判断是否需要对所述加工批次中的晶圆进行量测；

步骤6、转至所述步骤1执行；

所述预置规则为，将覆盖当前完成的加工工艺所采用加工设备的最多腔体的加工批次设定为有价值批次；或者

将覆盖当前完成的加工工艺所采用加工设备的全部腔体的加工批次设定为有价值批次。

2.如权利要求1所述基于小采样系统的晶圆量测采样方法，其特征在于，所述步骤1中，于判断所述加工批次的类型是否第一次到达所述量测站点之前，先判断所述加工批次是否已经根据加工批次的参数进行过分类，如果否，则退出流程。

3.如权利要求1所述基于小采样系统的晶圆量测采样方法，其特征在于，所述步骤1中，于判断所述加工批次的类型是否第一次到达所述量测站点之前，先判断所述加工批次是否具有不进行当前量测的标识，如果是，则退出流程。

4.如权利要求1所述基于小采样系统的晶圆量测采样方法，其特征在于，所述小采样系统包括以下步骤：

步骤51、获取到达量测站点的所述加工批次的类型对应的分组信息；

步骤52、根据到达量测站点的时间与晶圆数量，将当前到达量测站点的所述加工批次添加入一新的分组，或者

合并入已存在的与所述加工批次的类型对应的分组。

5.如权利要求1所述基于小采样系统的晶圆量测采样方法，其特征在于，对所述分组中有价值批次中的至少一片不具有放弃当前量测标识的晶圆进行量测。

6.如权利要求4所述基于小采样系统的晶圆量测采样方法，其特征在于，于所述步骤51之前，判断所述加工批次的类型是否第一次到达所述量测站点，如果是，则新建一分组，使当前新建的分组对应所述加工批次的类型，并将所述加工批次添加入当前新建的分组中。

7.如权利要求4所述基于小采样系统的晶圆量测采样方法，其特征在于，于所述步骤52中，判断所述加工批次到达量测站点的时间与所述加工批次的类型对应的分组建立时间之差是否小于等于一第三参考时间间隔，如果否，则新建一分组，使当前新建的分组对应所述加工批次的类型，并将所述加工批次添加入当前新建的分组中。

8.如权利要求4所述基于小采样系统的晶圆量测采样方法，其特征在于，于所述步骤52中，判断所述加工批次的类型对应的分组中已存在的晶圆数量与所述加工批次中的晶圆数量之和是否小于等于一参考值，如果否，则新建一分组，使当前新建的分组对应所述加工批次的类型，并将所述加工批次添加入当前新建的分组中。

9.如权利要求4所述基于小采样系统的晶圆量测采样方法，其特征在于，如所述加工批次的类型存在对应的分组；且

所述加工批次到达量测站点的时间与所述加工批次的类型对应的分组建立时间之差小于等于一第三参考时间间隔；且

所述加工批次的类型对应的分组中已存在的晶圆数量与所述加工批次中的晶圆数量之和小于等于一参考值；则

将所述加工批次添加入所述加工批次的类型对应的分组中。