[发明专利]描绘装置

权利要求书

1.一种描绘装置，对对象物照射光来描绘图案，其特征在于，

具有：

描绘头，其对对象物照射被空间调制后的光，

保持部，其保持所述对象物，并且使所述对象物相对于所述描绘头移动，来使来自所述描绘头的光的照射区域在所述对象物上扫描，

检查部，其检查所述描绘头；

所述描绘头具有：

光源，其射出光，

空间光调制设备，

照明光学系统，其将来自所述光源的光向所述空间光调制设备引导，

投影光学系统，其将通过所述空间光调制设备进行空间调制后的光向所述保持部引导；

所述检查部具有：

光量传感器，其在位于相对于所述描绘头被决定的描绘光量测定位置时接受来自所述投影光学系统的光，

传感器移动机构，其使所述光量传感器在所述描绘光量测定位置与预先决定的中间光量测定位置之间移动，

采光头，其插入在从所述光源至所述空间光调制设备为止的光路上，取得从所述光源朝向所述空间光调制设备的至少一部分光，

测定光学系统，其将被所述采光头取得的光向位于所述中间光量测定位置的所述光量传感器引导，

采光头移动机构，其将所述采光头插入在所述光路上，另外，使所述采光头从所述光路上离开。

2.根据权利要求1所述的描绘装置，其特征在于，

所述光量传感器设置在所述保持部上，

从所述投影光学系统的前端至所述光量传感器的受光面为止的距离等于从所述投影光学系统的所述前端至所述对象物的表面为止的距离，

所述传感器移动机构使所述保持部相对于所述描绘头移动。

3.根据权利要求2所述的描绘装置，其特征在于，

所述照明光学系统具有积分器，

所述采光头插入在从所述积分器至所述空间光调制设备为止的光路上。

4.根据权利要求3所述的描绘装置，其特征在于，

从所述光源射出的光为紫外线光。

5.根据权利要求4所述的描绘装置，其特征在于，

所述空间光调制设备为将能够变更朝向的多个微小镜面排列在平面上的光学元件。

6.根据权利要求5所述的描绘装置，其特征在于，

所述光量传感器接受的来自所述测定光学系统的光的光量为，所述光量传感器接受的来自所述投影光学系统的光的光量的10％以上且100％以下。

7.根据权利要求6所述的描绘装置，其特征在于，

所述检查部还具有异常检测部，所述异常检测部基于所述光量传感器接受的来自所述测定光学系统的光的光量和所述光量传感器接受的来自所述投影光学系统的光的光量，检测所述描绘头是否异常。

8.根据权利要求7所述的描绘装置，其特征在于，

所述检查部还具有另一个异常检测部，所述另一个异常检测部基于所述光量传感器接受的来自所述测定光学系统的光的光量和向所述光源供给的电流，检测所述描绘头是否异常。

9.根据权利要求7所述的描绘装置，其特征在于，

所述检查部还具有另一个异常检测部，所述另一个异常检测部基于所述光量传感器接受的来自所述测定光学系统的光的光量和向所述光源供给的电力，检测所述描绘头是否异常。

10.根据权利要求1所述的描绘装置，其特征在于，

所述照明光学系统具有积分器，

所述采光头插入在从所述积分器至所述空间光调制设备为止的光路上。

11.根据权利要求10所述的描绘装置，其特征在于，

从所述光源射出的光为紫外线光。

12.根据权利要求11所述的描绘装置，其特征在于，

所述空间光调制设备为将能够变更朝向的多个微小镜面排列在平面上的光学元件。

13.根据权利要求12所述的描绘装置，其特征在于，

所述光量传感器接受的来自所述测定光学系统的光的光量为，所述光量传感器接受的来自所述投影光学系统的光的光量的10％以上且100％以下。