[发明专利]物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体无效
| 申请号： | 201410493644.9 | 申请日： | 2014-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN104515630A | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 林和也;竹内正浩 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10;G01L9/00;G01C5/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 压力传感器 高度计 电子设备 移动 | ||
【权利要求书】：
1.一种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有：
隔膜部，其通过受压而发生挠曲变形；
固定电极，其设置在所述隔膜部上；以及
可动电极，其具有与所述固定电极分开地对置配置的可动部，
所述隔膜部的俯视形状为长条形状，
所述固定电极的俯视形状为沿着所述隔膜部的长边方向延伸的长条形状。
2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，
所述可动电极具有：
设置在所述隔膜上的支承部；以及
连结所述支承部和所述可动部的连结部。
3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其中，
所述固定电极和所述支承部沿着所述隔膜部的短边方向排列。
4.根据权利要求3所述的物理量传感器，其中，
所述固定电极的短边方向和所述隔膜部的短边方向是相同方向。
5.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，
关于所述隔膜部的俯视形状，在设长边方向的长度为L1、短边方向的长度为L2时，L2/L1处于1.5以上、3.0以下的范围内。
6.一种压力传感器，其特征在于，该压力传感器具有权利要求1所述的物理量传感器。
7.一种高度计，其特征在于，该高度计具有权利要求1所述的物理量传感器。
8.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1所述的物理量传感器。
9.一种移动体，其特征在于，该移动体具有权利要求1所述的物理量传感器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社;，未经精工爱普生株式会社;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410493644.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电容式MEMS压力传感器
- 下一篇：一种感温电路及温度传感器
