[发明专利]物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体

说明书

技术领域

本发明涉及物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体。

背景技术

以往，作为检测压力的传感器，公知有专利文献1所示的压力检测装置。

专利文献1所记载的压力检测装置具有：基板，其具有呈膜状且能够在厚度方向上变形的隔膜(diaphragm)；以及应变片，其配置在该基板上。当对隔膜施加压力时，隔膜挠曲，应变片的电阻值根据隔膜的挠曲量而变化。通过检测伴随该压阻元件的电阻值的变化量而产生的电位差作为压力变化的信号，能够检测出施加给隔膜的压力。

但是，这种结构的压力检测装置一般存在灵敏度低的问题。

专利文献1：日本特开平5-36993号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供灵敏度优良的物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体。

这种目的通过下述的本发明来实现。

[应用例1]

本发明的物理量传感器的特征在于，其具有：隔膜部，其通过受压而发生挠曲变形；固定电极，其设置在所述隔膜部上；以及可动电极，其具有与所述固定电极分开地对置配置的可动部，所述隔膜部的俯视形状为长条形状，所述固定电极的俯视形状为沿着所述隔膜部的长边方向延伸的长条形状。

由此，能够高精度地检测隔膜部受到的压力，能够提供灵敏度优良的物理量传感器。

[应用例2]

在本发明的物理量传感器中，优选的是，所述可动电极具有：设置在所述隔膜上的支承部；以及连结所述支承部和所述可动部的连结部。

[应用例3]

在本发明的物理量传感器中，优选的是，所述固定电极和所述支承部沿着所述隔膜部的短边方向排列。

由此，能够特别地增大由于隔膜部受压而发生挠曲所引起的固定电极与可动部之间的间隔变动量。

[应用例4]

在本发明的物理量传感器中，优选的是，所述固定电极的短边方向和所述隔膜部的短边方向是相同方向。

由此，能够大幅增大由于隔膜部受压而发生挠曲所引起的固定电极与可动部之间的间隔变动量。

[应用例5]

在本发明的物理量传感器中，优选的是，关于所述隔膜部的俯视形状，在设长边方向的长度为L1、短边方向的长度为L2时，L2/L1处于1.5以上、3.0以下的范围内。

由此，在隔膜部由于受压而发生挠曲变形时，能够大幅改变固定电极与可动部的间隔(分开距离)，由此，能够进一步提高物理量传感器的精度。

[应用例6]

本发明的压力传感器的特征在于，其具有本发明的物理量传感器。

由此，能够得到可靠性高的压力传感器。

[应用例7]

本发明的高度计的特征在于，其具有本发明的物理量传感器。

由此，能够得到可靠性高的高度计。

[应用例8]

本发明的电子设备的特征在于，其具有本发明的物理量传感器。

由此，能够得到可靠性高的电子设备。

[应用例9]

本发明的移动体的特征在于，其具有本发明的物理量传感器。

由此，能够得到可靠性高的移动体。

附图说明

图1是示出本发明的物理量传感器的第1实施方式的剖视图。

图2是图1所示的物理量传感器的隔膜部的放大详细图，其中，(a)是由图1中的单点划线包围的区域[A]的剖视图，(b)是从(a)中的箭头B方向观察的图。

图3是示出图1所示的隔膜部的变形的图，其中，(a)是示出自然状态的图，(b)是示出加压状态的图。

图4是用于研究隔膜部的长边方向的长度与间隔变动量之间的关系的、物理量传感器的隔膜部的放大详细图。

图5是示出隔膜部的长边方向的长度与间隔变动量之间的关系的曲线图。

图6是示出图1所示的物理量传感器的制造工序的图。

图7是示出图1所示的物理量传感器的制造工序的图。

图8是示出图1所示的物理量传感器的制造工序的图。

图9是示出图1所示的物理量传感器的制造工序的图。

图10是示出本发明的物理量传感器的第2实施方式的放大剖视图，其中，(a)是放大剖视图，(b)是从(a)中的箭头D方向观察的图。

图11是示出图10所示的隔膜部的变形的图，其中，(a)是示出自然状态的图，(b)是示出加压状态的图。