[发明专利]固态摄像装置、固态摄像装置的制造方法以及电子设备

说明书

本发明提供了固态摄像装置、固态摄像装置的制造方法以及电子设备。固态摄像装置包括摄像像素和焦点检测像素，摄像像素，其包括微透镜以及用于接收从所述微透镜入射的光的光电转换单元；以及焦点检测像素，其包括所述微透镜、所述光电转换单元以及用于遮挡入射到所述光电转换单元上的部分光的遮光单元，其中，所述微透镜一致地形成在所述摄像像素和所述焦点检测像素中，并且所述焦点检测像素还包括形成在所述微透镜的下层的高折射率膜，或者所述焦点检测像素还包括形成在所述微透镜的下层的高折射率膜，亦或者所述摄像像素还包括形成在所述微透镜的下层的波导。能够简化微透镜的形成工艺，并且优化摄像像素的灵敏度以及焦点检测像素的分离特性。

技术领域

本发明涉及固态摄像装置、固态摄像装置的制造方法以及电子设备，并且特别地涉及能够优化摄像像素的灵敏度以及焦点检测(focus detection)像素的分离特性的固态摄像装置、固态摄像装置的制造方法以及电子设备。

背景技术

目前已知的固态摄像装置通过所谓的基于由成对的焦点检测像素输出的信号的偏移量来检测聚焦点的光瞳分割(pupil division)相位差系统进行焦点检测。在固态摄像装置中，焦点检测像素被设置至具有摄像像素的像素阵列单元。

在这类固态摄像装置中，在位于低于遮光膜的层上的光电转换单元的受光表面侧上存在微透镜的集光点的情况下，摄像像素表现出最高的灵敏度。另一方面，在遮光膜上存在微透镜的集光点的情况下，焦点检测像素表现出最强的分离特性。然而，在相关技术中，摄像像素的灵敏度的优化是以牺牲焦点检测像素的分离性能为代价的。

鉴于此，在焦点检测像素中，为了使微透镜的集光点与摄像像素的集光点相重合，已提出了针对摄像像素和焦点检测像素单独地制造微透镜的方法(例如，见日本专利申请公开号2009-109965)。

此外，还公开了如下结构：在安装有微透镜的焦点检测像素上的位置处设置台阶(step)，以由此调节微透镜的集光点(例如，见日本专利申请公开号2007-281296)。

然而，在日本专利申请公开号2009-109965公开的结构中，针对摄像像素和焦点检测像素不易于共同地形成微透镜。

另外，在日本专利申请公开号2007-281296的结构中，在焦点检测像素中，由于微透镜高于摄像像素，所以在与焦点检测像素相邻的摄像像素中产生了阴影，从而造成图像质量的劣化。

发明内容

鉴于上述情况，期望简化微透镜的形成工艺，并且优化摄像像素的灵敏度以及焦点检测像素的分离性能。

根据本发明的第一实施例，提供了一种包括有摄像像素和焦点检测像素的固态摄像装置。摄像像素包括微透镜微透镜以及用于接收从所述微透镜入射的光的光电转换单元。焦点检测像素包括所述微透镜、所述光电转换单元以及用于遮挡入射到所述光电转换单元上的部分光的遮光单元。所述微透镜一致地形成在所述摄像像素和所述焦点检测像素中，并且所述焦点检测像素还包括形成在所述微透镜的下层的高折射率膜。

所述微透镜可具有位于所述光电转换单元上的集光点。

根据本发明的第一实施例，提供了一种固态摄像装置的制造方法，所述固态摄像装置包括摄像像素和焦点检测像素。所述摄像像素包括微透镜微透镜以及用于接收从所述微透镜入射的光的光电转换单元。所述焦点检测像素包括所述微透镜、所述光电转换单元以及用于遮挡入射到所述光电转换单元上的部分光的遮光单元。所述固态摄像装置的制造方法包括：在所述焦点检测像素中的所述微透镜的下层形成高折射率膜；并且在所述摄像像素和所述焦点检测像素中一致地形成所述微透镜。