[发明专利]抗电磁波干扰合金薄膜的靶材无效
| 申请号： | 201410494137.7 | 申请日： | 2014-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN104451261A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 郑兆希 | 申请（专利权）人： | 兆阳真空动力股份有限公司 |
| 主分类号： | C22C18/04 | 分类号： | C22C18/04;C22C1/06;C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 姚亮 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电磁波 干扰 合金 薄膜 | ||
1.一种抗电磁波干扰合金薄膜的靶材，该靶材是以熔炼的方式将合金主要组成熔炼在一靶上，其至少包含：
59wt％-97wt％的锌，3wt％-40wt％的铝，及0.005wt％-1wt％的变质剂，其中所述变质剂包含铝、钛、碳，钛占所述变质剂的0.8wt％-25wt％、碳占所述变质剂的0.01wt％-3wt％，所述变质剂中其余为铝。
2.根据权利要求1所述的抗电磁波干扰合金薄膜的靶材，其中，所述的变质剂还包含硼，所述硼与碳以碳化硼呈现，所述碳化硼占所述变质剂的0.1wt％-7wt％。
3.根据权利要求1所述的抗电磁波干扰合金薄膜的靶材，其中，所述的变质剂中以氮替代碳，硼与所述氮以氮化硼呈现，所述氮化硼占所述变质剂的0.05wt％-6wt％。
4.一种抗电磁波干扰合金薄膜的靶材，该靶材是以熔炼的方式将合金主要组成熔炼在一靶上，其至少包含：
59wt％-97wt％的锌，3wt％-40wt％的铝，及0.005wt％-1wt％的变质剂，其中，所述变质剂包含锌、钛，钛占所述变质剂的2wt％-10wt％，所述变质剂中其余为锌。
5.根据权利要求4所述的抗电磁波干扰合金薄膜的靶材，其中，所述的变质剂还包含铝，所述铝占所述变质剂的2.94wt％-40wt％，而使得钛占所述变质剂的4wt％-16wt％，所述变质剂中其余为锌。
6.根据权利要求4所述的抗电磁波干扰合金薄膜的靶材，其中，所述的变质剂还包含铝、硼及氮，铝占所述变质剂的30wt％-60wt％，而使得钛占所述变质剂的0.005wt％-6wt％，所述硼与氮以氮化硼呈现，所述氮化硼占所述变质剂的0.0025wt％-3wt％，所述变质剂中其余为锌。
7.一种抗电磁波干扰合金薄膜的靶材，该靶材是以熔炼的方式将合金主要组成熔炼在一靶上，其至少包含：
59wt％-97wt％的锌，3wt％-40wt％的铝，及0.005wt％-1wt％的变质剂，其中，所述变质剂包含锌、锆，锆占所述变质剂的0.01wt％-17wt％，所述变质剂中其余为锌。
8.一种抗电磁波干扰合金薄膜的靶材，该靶材是以熔炼的方式将合金主要组成熔炼在一靶上，其至少包含：
59wt％-97wt％的锌，3wt％-40wt％的铝，及0.005wt％-1wt％的变质剂，其中，所述变质剂包含铝、锌、铬，铝占所述变质剂的8wt％-50wt％，铬占所述变质剂的0.01wt％-16wt％，所述变质剂中其余为锌。
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