[发明专利]抗电磁波干扰合金薄膜的靶材

说明书

技术领域

本发明关于一种溅镀靶，特别是指一种抗电磁波干扰合金薄膜的靶材。

背景技术

塑料机壳虽然质感不如金属机壳，但由于其具有相对质轻、可以以射出法一体成型，此外，塑料机壳质感可以透过镀上金属薄膜加以改善，而且塑料机壳与金属机壳CP值相比，塑料机壳要便宜许多，因此，在已知的3C产品中，塑料机壳一直占有一席之地。特别是当3C产品市场属性归类为中低阶时，塑料机壳市占比就愈高。

塑料机壳除了上述质感不如金属机壳，需要透过金属镀膜改善外，另一缺点是电磁波可以穿透塑料机壳，因此，作为3C产品的机壳，需要通过电磁波防护膜来克服。为避免后续工法增加成本，减损其对金属机壳的竞争力，最简单的方式是直接镀上电磁波防干扰膜，同时也可增加金属质感。

现有技术中，铜镀膜再加一不锈钢膜是一选项，铜镀膜具有低电阻性，不锈钢膜可以防止氧化铜生成。不过铜对塑料附着性不是那么好，在2010年的申请号为99142728的中国台湾专利中提出以铝和锌相互镶嵌的复合式溅镀靶，其中一实施例中，金属层的材料属于非铁磁性的材料，选择自铝、钛、锌、铬及其任意组合的群组。这些材料都具有一种共同特性，就是在成膜之后会自发性的在金属层表面形成致密的氧化层，金属层的材料可以选自铝、钛、锌、铬及其任意组合所组成的群组中的一种。或者选自铜锡合金、铜锌合金或铜铝合金，厚度大约为100nm至1500nm。

其中，当金属层材料为合金时，所选用的靶材形成两种纯金属相互镶嵌的复合式溅镀靶。并且，若以锌或锌合金作为金属层材料时，在溅镀时，将锌或锌合金靶加热至大约150至300℃，以提高溅镀率。

在其中的一实施例中，锌合金以锌为主，添加3至50重量百分比的铝、铬、钛、铜及其任意组合所形成的群组中的一种，而其中又以金属层的材料是锌铝合金为最佳。

在另一实施例中，以铝钛合金或铝铬合金作为电磁波防护层，钛或铬可增加附着于塑料外壳的附着力。

上述的专利申请案中，溅镀使用的合金靶是镶嵌式复合靶材。其中一较佳实施例可参照图1及图2，镶嵌式复合靶材选择第一金属材料30作为基材，将基材的被溅镀面挖出至少一孔洞300，并将一第二金属材料31紧配嵌入于孔洞300中，形成两种纯金属相互镶嵌的复合式溅镀靶。第二金属材料31也可以螺丝或者其他锁固机构锁附于第一金属材料30，结合成一靶材。

上述的镶嵌式复合靶材的制作工艺复杂，且得引导电浆轰击目标区域，因此，增加控制设备的复杂度。

综上所述，提供一种制作工艺更简单且在制作过程中无需引导电浆轰击目标区域的靶材材料及其制备方法成为一种需要。

发明内容

本发明的目的是提供一种抗电磁波干扰合金薄膜的靶材及其制备方法。该靶材选取预定比例的两种金属的组成，直接以熔炼法制成。不必刻意让电浆轰击预定部位，为避免熔炼过程导致树枝状晶的生成，而加入变质剂。

本发明的抗电磁波干扰合金薄膜的靶材，靶材是以熔炼的方式将合金主要组成熔炼在一靶上，其至少包含：59wt％-97wt％的锌(Zn)，3wt％-40wt％的铝(Al)，及0.005wt％-1wt％的变质剂，其中，所述变质剂包含铝(Al)、钛(Ti)、碳(C)，钛占所述变质剂的0.8wt％-25wt％、碳占所述变质剂的0.01wt％-3wt％，所述变质剂中其余为铝。

在本发明提供的抗电磁波干扰合金薄膜的靶材中，优选地，采用的变质剂还包含硼，硼与碳以碳化硼(B₄C)呈现，所述碳化硼占所述变质剂的0.1wt％-7wt％。在另一实施例中，变质剂中以氮替代碳，硼与氮以氮化硼(B₄N)呈现，所述氮化硼占所述变质剂的0.05wt％-6wt％。

本发明提供了一种抗电磁波干扰合金薄膜的靶材，该靶材是以熔炼的方式将合金主要组成熔炼在一靶上，其至少包含：

59wt％-97wt％的锌(Zn)，3wt％-40wt％的铝(Al)，及0.005wt％-1wt％的变质剂，其中，该变质剂包含锌(Zn)、钛(Ti)，钛占该变质剂的2wt％-10wt％，所述变质剂中其余为锌。

在本发明提供的抗电磁波干扰合金薄膜的靶材中，优选地，上述的变质剂中铝占所述变质剂的2.94wt％-40wt％，而使得钛占所述变质剂的4wt％-16wt％，所述变质剂中其余为锌。