[发明专利]LED用电子封装圆片的热校平方法有效

专利信息
申请号: 201410498813.8 申请日: 2014-09-25
公开(公告)号: CN105514246B 公开(公告)日: 2018-07-06
发明(设计)人: 代海;朱玉斌 申请(专利权)人: 上海六晶科技股份有限公司
主分类号: H01L33/48 分类号: H01L33/48;H01L33/00
代理公司: 上海容慧专利代理事务所(普通合伙) 31287 代理人: 于晓菁
地址: 201815 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 电子封装 圆片 加热炉 热校平 多片 校平 保温 冷却 校平模具 纯氢气 模具板 配重块 地摆 取出 整齐
【说明书】:

发明提供了一种LED用电子封装圆片的热校平方法,包括:第一步骤,将多片LED用电子封装圆片对其整齐地摆放在加热炉的校平模具板之间;第二步骤,在校平模具板的最上面放置配重块;第三步骤,设置加热炉的校平温度和保温时间,并且启动加热炉以便对所述多片LED用电子封装圆片进行热校平处理;第四步骤,使得所述多片LED用电子封装圆片在加热炉中冷却,随后取出冷却后的所述多片LED用电子封装圆片。其中在第三步骤中,热校平处理时,校平温度介于700~1500℃之间,升温速度为5~15°/min,保温时间为1~7小时,气氛为纯氢气。

技术领域

本发明涉及LED(Light Emitting Diode,发光二极管)制造领域,更具体地说,本发明涉及一种LED用电子封装圆片的热校平方法。

背景技术

LED灯芯片中的半导体层可将电流转化为光,半导体层由电子区(即N型掺杂区)和空穴区(即P型掺杂区)组成,电流通过半导体层,电子与空穴结合,以光子形式发出光。剩余能量以热辐射形式释放,温度可达85℃或更高。现有LED的基片衬底由于是蓝宝石或硅片组成,衬底的散热问题是LED灯寿命较小的最大因素。而且,随着对亮度的要求不断提高,对散热的需求会越来越大。

钼铜、钨铜、纯钼具有良好的高温性能和低膨胀系数,同以蓝宝石、硅片为代表的基板具有相同或相近的热膨胀系数,从而此材料作为基板的理想替代材料或理想补充材料。作为电子封装及热沉材料,对于材料的质量和性能具有更高的要求,不仅要求高的纯度和组织均匀、高的导电导热性和严格控制的热膨胀系数,还要求其具有良好的表面以及较低的平面度。

LED用电子封装圆片在使用时要进行切割划片,如果产品平面度不好,势必会影响最终芯片的尺寸。因此为了保证最终产品具有良好的平面度,必须进行校平。

校平工艺有机械校平和热校平。当金属变形抗力相当大,难以达到很高的平面度时,常常使用模具进行热校平。热校平的原理是将材料加热到金属再结晶温度以下某个适当的温度,这时由于材料变形抗力随温度升高而急剧下降,通过施加很小的外力,就能使板材内部的各层纤维组织趋于一致,达到校平的目的。同时,由于材料的组织没有发生转变,所以材料的机械性能没有显著降低。采用热校平工艺,具有质量稳定的优点,适合于大批量生产。

采用热校平工艺时,必须注意两个要点:一是合理的校平模具,模具材料屈服极限应高于板件热校平的抗力;二是热校平温度,热校平温度是金属再结晶温度以下的某一温度。但是,现有技术中压力加工后的LED用电子封装圆片平面度并不好。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的压力加工后的LED用电子封装圆片平面度不好的问题,提出了一种热校平方法。通过这种方法使得最终LED用圆片具有良好的平面度,而且环保无害,具有很高的生产效率。

为了实现上述技术目的,根据本发明,提供了一种LED用电子封装圆片的热校平方法,包括:第一步骤,将多片LED用电子封装圆片对其整齐地摆放在加热炉的校平模具板之间;第二步骤,在校平模具板的最上面放置配重块;第三步骤,设置加热炉的校平温度和保温时间,并且启动加热炉以便对所述多片LED用电子封装圆片进行热校平处理;第四步骤,使得所述多片LED用电子封装圆片在加热炉中冷却,随后取出冷却后的所述多片LED用电子封装圆片。

优选地,在第三步骤中,热校平处理时,校平温度介于700~1500℃之间,升温速度为5~15°/min,保温时间为1~7小时。

优选地,第三步骤中,热校平处理时,校平温度为780℃,升温速度为10°/min,保温时间为2小时。

优选地,第三步骤中,热校平处理时的气氛为纯氢、氩气、真空。

优选地,所述校平模具的尺寸大于LED用电子封装圆片的尺寸。

优选地,所述校平模具是TZM合金板、氧化锆板、氧化铝板、碳化硅板和/或氮化硅板。

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