[发明专利]吸附装置、搬送装置、及光学元件的制造装置

权利要求书

1.一种吸附装置，其具备装置主体，所述装置主体在内部形成有空间，并具有：抽气口，其与所述空间连通并与抽气装置连接；和吸附口，其朝向所述抽气口的相反侧开口，并与所述空间连通，利用所述抽气装置从所述抽气口对所述空间内进行减压，从而将被吸附部件吸附于所述吸附口，其中，

所述吸附装置具备脱离部件，所述脱离部件具有：分割部，其将所述空间分割成所述抽气口侧的抽气侧空间和所述吸附口侧的吸附侧空间；和脱离轴，其以末端能够从所述吸附口向外部突出的方式立起设置于所述分割部，

所述脱离部件包括压力控制机构，在利用所述抽气装置进行抽气时，所述压力控制机构使所述抽气侧空间内的压力比所述吸附侧空间的压力小，

所述压力控制机构由开口构成，

所述开口形成于所述分割部，其位于所述抽气口垂直地投影到所述分割部的吸附口侧表面的轮廓内的部分的总面积比所述抽气口的面积小。

2.根据权利要求1所述的吸附装置，其中，

所述脱离部件能够在第1位置和第2位置之间移动，在所述第1位置，所述脱离轴的末端从所述吸附口向外部突出，在所述第2位置，所述脱离轴的末端收纳在所述装置主体内，

在由所述抽气装置抽气时，利用所述压力控制机构，使所述抽气侧空间内的压力比所述吸附侧空间的压力小，由此所述脱离部件移动至第2位置，所述被吸附部件吸附于所述吸附口，

在解除所述抽气装置对所述空间内的减压时，所述脱离部件移动至第1位置，所述脱离轴的末端从所述吸附口向外部突出，使所述被吸附部件脱离。

3.根据权利要求1或2所述的吸附装置，其中，

所述空间形成为圆柱状，

所述分割部形成为圆盘状，所述脱离轴的一端立起设置于所述分割部的中心，所述开口以所述脱离轴为中心旋转对称。

4.一种搬送装置，其具备权利要求1～3中任意一项所述的吸附装置，

所述搬送装置具备控制部，

所述控制部以如下方式进行控制：

在起点处，通过所述抽气装置对所述空间内进行减压，以使所述吸附装置吸附所述被吸附部件，

移动部在吸附所述被吸附部件的状态下，将所述吸附装置移动至终点，

在所述终点处，所述抽气装置解除所述空间内的减压，所述吸附装置使所述被吸附部件脱离。

5.根据权利要求4所述的搬送装置，其中，

所述控制部根据利用与所述抽气口连接的压力传感器测定的测定压力和预先设定的基准压力，控制所述移动部从所述起点向所述终点移动。

6.根据权利要求5所述的搬送装置，其中，

所述控制部以如下方式进行控制：

在所述压力传感器判定为所述测定压力比所述基准压力低的情况下，所述移动部使所述吸附装置从所述起点向所述终点移动，

在所述压力传感器判定为所述测定压力比所述基准压力高的情况下，所述抽气装置解除所述空间内的减压。

7.一种光学元件的制造装置，其具备：

权利要求4所述的搬送装置；和

对所述被吸附部件进行加压成型的成型装置。