[发明专利]一种掩模板的夹持装置及其组件

权利要求书

1.一种掩模板的夹持装置，包括夹持模块、驱动模块、运行导轨以及夹持装置基座，其特征在于：

所述夹持模块、所述驱动模块以及所述运行导轨直接或间接固定于所述夹持装置基座上，所述夹持模块直接或间接与所述驱动模块连接，所述驱动模块可以驱动所述夹持模块在所述运行导轨上运行，从而实现对所述夹持模块夹持的所述掩模板施加张力或释放张力的动作；

所述夹持装置还包括夹持模块安装板，所述夹持模块包括杠杆压板、上夹板、下夹板、下夹板支座、杠杆支座、曲面顶块、曲面顶块控制机构、滚动机构以及夹持模块滑块，所述夹持模块固定于所述夹持模块安装板上，所述上夹板固定于所述杠杆压板头部，所述滚动机构固定于所述杠杆压板尾部，所述滚动机构可以沿所述曲面顶块的曲面滚动，所述下夹板固定于所述下夹板支座上，所述杠杆压板通过铰链销安装于所述杠杆支座，所述下夹板支座、所述杠杆支座、所述曲面顶块控制机构依次固定于所述夹持模块安装板上，所述曲面顶块控制机构可以控制所述曲面顶块在所述夹持模块安装板上一定的行程内运动，所述杠杆压板通过所述曲面顶块的运动以及所述杠杆支座的支撑作用控制固定于其头部所述上夹板的高度，实现所述上夹板与所述下夹板夹紧或释放所述掩模板的边缘的动作。

2.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于：所述夹持装置还包括受力感应模块，所述夹持模块通过所述受力感应模块间接地与所述驱动模块连接。

3.根据权利要求2所述的夹持装置，其特征在于：所述驱动模块为电机，所述受力感应模块为感应拉力的传感器。

4.根据权利要求2~3任意一项权利要求所述的夹持装置，其特征在于：所述夹持装置还包括限位机构，所述限位机构包括限位挡板、限位块以及限位连接机构。

5.根据权利要求4所述的夹持装置，其特征在于：所述限位连接机构包括两个连接板和一个连接底板，所述两个连接板分别与所述受力感应模块和所述驱动模块连接，所述连接底板下侧固定有底板滑块，所述底板滑块可以在所述运行导轨上滑行，所述连接底板上侧安装有限位轨道。

6.根据权利要求5所述的夹持装置，其特征在于：所述限位块的下侧固定于所述限位轨道上，所述限位挡板固定于所述夹持装置基座上，所述限位连接机构通过所述底板滑块可以相对于所述限位挡板滑行，当所述限位块滑动到所述限位挡板所在的位置时可以感应到信号，并将感应到的所述信号传递给控制单元。

7.一种掩模板的夹持装置组件，包括基座、至少四组安装座以及至少四个如权利要求1~6任意一项所述的掩模板的夹持装置，其特征在于：

所述安装座对称的固定于所述基座上，所述夹持装置直接或间接的固定于所述安装座的确定位置。

8.根据权利要求7所述的夹持装置组件，其特征在于：所述夹持装置基座的下侧面安装有运行滑块，所述安装座上设有安装轨道，所述夹持装置通过所述运行滑块对称的安装于所述安装座的所述安装轨道上。

9.根据权利要求8所述的夹持装置组件，其特征在于：所述夹持装置基座上设置有至少一个螺纹通孔，与所述螺纹通孔匹配的设置有螺栓，通过旋转所述螺栓可以实现螺栓与所述安装座的上表面顶紧，从而实现每一个所述夹持装置固定在所述安装轨道上的确定位置。