[发明专利]一种掩模板的夹持装置及其组件

说明书

本发明公开了一种掩模板的夹持装置，驱动模块、运行导轨、夹持装置基座，夹持模块、驱动模块以及运行导轨直接或间接固定于夹持装置基座上，夹持模块直接或间接与驱动模块连接，驱动模块可以驱动夹持模块在运行导轨上运行，从而实现对夹持模块夹持的掩模板施加张力或释放张力的动作；本发明还公开了一种掩模板的夹持装置组件，包括基座、至少四组安装座以及至少四个上述所述的掩模板的夹持装置，安装座对称的固定于基座上，夹持装置直接或间接的固定于安装座的确定位置。本发明提供的用于OLED掩模板的夹持装置及其组件，在掩模板组装或制作掩模板开口工序中对掩模板施加均匀可控的张力从而提高掩模组件质量。

技术领域

本发明属于平面显示行业，涉及OLED显示屏产业，尤其涉及一种OLED 掩模板的夹持装置及其组件。

背景技术

OLED是下一代的显示技术，与目前使用的LCD显示技术相比，具有可视角大、色彩艳丽、功耗低等优点，会逐渐替代目前主流的液晶显示技术。OLED显示屏制作过程中，有一道有机发光体蒸镀工艺，需要用到高精度的OLED蒸镀用掩模组件，掩模组件的质量对显示屏的质量、成品率有极大影响，是制约OLED显示屏发展的关键因素。

OLED蒸镀用掩模组件包括掩模板和掩模框两部分，掩模板上具有精密图形，精密图形为蒸镀图形转印的基准，通过绷网机构将带有精密图形的掩模板进行绷网，使掩模板具有一定的张力，通过激光焊接将具有一定张力的掩模板固定于掩模框（简称为掩模组装），通常掩模板开口制作工序也需要对掩模板基材进行绷网，所以绷网工序对掩模组件的精度影响很大，通常会因绷网装置提供绷网拉力不均导致掩模板变形或掩模组件精度不高。

在将掩模板组装到掩模框工序以及制作掩模板开口工序中需要通过绷网步骤对掩模板施加张力，为保证对掩模板所施加的张力均匀可控且不会使掩模板变形，本发明提供一种对掩模板施加张力的夹持装置及其组件。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种在掩模板组装或制作掩模板开口的工序中对掩模板施加均匀可控的张力的夹持装置及其组件。

本发明提供一种掩模板的夹持装置，包括夹持模块、驱动模块、运行导轨以及夹持装置基座，所述夹持模块、所述驱动模块以及所述运行导轨直接或间接固定于所述夹持装置基座上，所述夹持模块直接或间接与所述驱动模块连接，所述驱动模块可以驱动所述夹持模块在所述运行导轨上运行，从而实现对所述夹持模块夹持的所述掩模板施加张力或释放张力的动作。

进一步地，所述夹持装置还包括受力感应模块，所述夹持模块通过所述受力感应模块间接地与所述驱动模块连接，驱动模块可以是气缸或电机。

受力感应模块的一端通过浮动接头与夹持模块连接，受力感应模块的另一端与驱动模块连接。夹持模块还包括受力感应模块安装板，浮动接头固定于受力感应模块安装板。

优选地，受力感应模块为感应拉力的传感器，驱动模块为电机。

进一步地，所述夹持装置还包括夹持模块安装板，所述夹持模块包括杠杆压板、上夹板、下夹板、下夹板支座、杠杆支座、曲面顶块、曲面顶块控制机构、滚动机构以及夹持模块滑块，所述夹持模块固定于所述夹持模块安装板上，所述夹持模块滑块固定于夹持模块安装板的下侧，所述上夹板固定于所述杠杆压板头部，所述滚动机构固定于所述杠杆压板尾部，所述滚动机构可以沿所述曲面顶块的曲面滚动，所述下夹板固定于所述下夹板支座上，所述杠杆压板通过铰链销安装于所述杠杆支座，所述下夹板支座、所述杠杆支座、所述曲面顶块控制机构依次固定于所述夹持模块安装板上，所述曲面顶块控制机构可以控制所述曲面顶块在所述夹持模块安装板上一定的行程内运动，所述杠杆压板通过所述曲面顶块的运动以及所述杠杆支座的支撑作用控制固定于其头部所述上夹板的高度，实现所述上夹板与所述下夹板夹紧或释放所述掩模板的边缘的动作。

进一步地，所述夹持装置还包括限位机构，所述限位机构包括限位挡板、限位块以及限位连接机构。