[发明专利]具有静电放电(ESD)保护的半导体布置有效
申请号: | 201410507446.3 | 申请日: | 2014-09-28 |
公开(公告)号: | CN104821315B | 公开(公告)日: | 2018-06-15 |
发明(设计)人: | 陈佳惠;马威宇;陈国基 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;李伟 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 半导体布置 静电放电 堆叠结构 第一层 焊盘 可选 通孔 | ||
本发明提供了一种或多种具有堆叠结构和静电放电(ESD)保护的半导体布置。半导体布置包括第一衬底、第二衬底、ESD焊盘、ESD器件及连接第一衬底和第二衬底的第一层间通孔。第一衬底包括第一PMOS器件和第一器件,而第二衬底包括第一NMOS器件和第二器件。可选地,第一衬底包括第一PMOS器件和第一NMOS器件,而第二衬底包括第一器件和第二器件。
技术领域
本发明总体涉及集成电路,更具体地,涉及三维集成电路(3D IC)。
背景技术
在电子器件中,三维集成电路(3D IC)是将两层或更多层的有源电子部件集成到单个电路中的器件。与其他电路一样,三维集成电路容易受到静电放电(ESD)事件的影响。静电放电事件是将能量传输至设备的突发并且无法预知的电压或电流。已知静电放电事件会使设备的可操作性比预期的差或者完全无法运行。
发明内容
根据本发明的一个方面,提供了一种半导体布置,包括:第一衬底、第二衬底、静电放电(ESD)焊盘和第一层间通孔。第一衬底包括:第一 PMOS器件;和第一NMOS器件。第二衬底,包括:第一器件;和第二器件。静电放电(ESD)焊盘连接在第一器件和第二器件之间;以及第一层间通孔连接第一衬底和第二衬底。
优选地,第一PMOS器件连接至第一器件,第一器件连接至第二器件,以及第二器件连接至第一NMOS器件。
优选地,第一器件和第二器件中的至少一个是第二PMOS器件、第二 NMOS器件、第一电阻器和第二电阻器中的至少一个。
优选地,第一器件是第二PMOS器件,而第二器件是第二NMOS器件。
优选地,第一器件是第一电阻器,而第二器件是第二电阻器。
优选地,该半导体布置包括:VDD电源,连接至第一PMOS器件;以及VSS电源,连接至第一NMOS器件。
优选地,该半导体布置包括:ESD器件,连接至ESD焊盘。
优选地,第一衬底和第二衬底为堆叠结构。
根据本发明的另一方面,提供了一种半导体布置,包括:第一衬底、第二衬底、静电放电(ESD)焊盘和第一层间通孔。其中,第一衬底包括:第一PMOS器件;和第一器件。第二衬底,包括:第一NMOS器件;和第二器件。静电放电(ESD)焊盘连接在第一器件和第二器件之间;以及第一层间通孔连接第一衬底和第二衬底。
优选地,第一PMOS器件连接至第一器件,第一器件连接至第二器件,以及第二器件连接至第一NMOS器件。
优选地,第一器件和第二器件中的至少一个是第二PMOS器件、第二 NMOS器件、第一电阻器和第二电阻器中的至少一个。
优选地,第一器件是第二PMOS器件,而第二器件是第二NMOS器件。
优选地,第一器件是第一电阻器,而第二器件是第二电阻器。
优选地,该半导体布置包括:VDD电源,连接至第一PMOS器件;以及VSS电源,连接至第一NMOS器件。
优选地,该半导体布置包括:ESD器件,连接至ESD焊盘。
优选地,第一衬底和第二衬底为堆叠结构。
根据本发明的又一方面,提供了一种半导体布置,包括:第一衬底、第二衬底、静电放电(ESD)焊盘、ESD器件、第一层间通孔和第二层间通孔。其中,第一衬底包括:第一PMOS器件;和第一NMOS器件。第二衬底,包括:第一器件;和第二器件。静电放电(ESD)焊盘连接在第一器件和第二器件之间。ESD器件连接至ESD焊盘。第一层间通孔位于第一 PMOS器件和第一器件之间。第二层间通孔位于第一NMOS器件和第二器件之间。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的