[发明专利]半导体封装件及其制法有效
申请号: | 201410507705.2 | 申请日: | 2014-09-28 |
公开(公告)号: | CN105514053B | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
发明(设计)人: | 邱士超;林俊贤;孙铭成;白裕呈;沈子杰 | 申请(专利权)人: | 矽品精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L21/50;H01L21/56 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 及其 制法 | ||
一种半导体封装件及其制法,该制法,先提供一设有线路层与阻块的承载件,再形成一具有相对的第一表面及第二表面的封装层于该承载件上,使该封装层包覆该线路层与该阻块,且该第一表面结合于该承载件上,之后移除该承载件与该阻块,以令该封装层的第一表面上形成开口,供电子元件设于其中,所以于置放该电子元件之前,可先对线路层与该电子元件分别进行测试,以淘汰不良品,因而能避免将半导体封装件整体报废而造成材料浪费的问题。
技术领域
本发明有关一种封装制程,特别是关于一种半导体封装件及其制法。
背景技术
随着电子产业的蓬勃发展,电子产品亦朝着轻、薄、短、小、高积集度、多功能化方向发展。而为满足封装结构高积集度(Integration)以及微型化(Miniaturization)的封装需求,封装基版除了导入球栅阵列(BGA)的设计,封装形式逐渐由打线式(Wire Bonding)封装或覆晶式(Flip Chip,FC)封装进展到直接在一封装基板(packaging substrate)中嵌埋并电性整合一例如具有积体电路的半导体晶片,此种封装件能缩减整体半导体装置的体积并提升电性功能。
如图1所示,现有嵌埋式半导体封装件1包括:一具有相对第一及第二表面10a,10b及贯穿该第一及第二表面10a,10b的开口100的核心板10、设于该开口100中的晶片11、设于该核心板10的第一及第二表面10a,10b与晶片11上的线路增层结构13、以及设于该线路增层结构13上的防焊层16。
所述的晶片11具有作用面11a及非作用面11b,于该作用面11a上具有多个电极垫110,且藉由粘着材12填充于该开口100,以固定该晶片11于该开口100中。
所述的线路增层结构13具有至少一介电层130、设于该介电层130上的线路层131、及多个设于该介电层130中并电性连接该电极垫100与线路层131的导电盲孔132。
所述的防焊层16具有多个开孔160,以令该线路层131的部分表面外露于各该开孔160中,俾供作为电性接触垫以外接其他电子装置。
然而,现有半导体封装件1中,因整体结构包含核心板10,导致增加整体结构的厚度,而难以符合薄化的需求,且需考量该核心板的制作成本,因而难以降低整体制作成本。
此外,现有半导体封装件1的制法需先埋设该晶片11,待制作该线路增层结构13后,才进行测试,所以当测试后该半导体封装件1为不良品时,不论晶片11、该线路增层结构13或核心板10好坏与否,均需将该半导体封装件1整体报废,导致材料浪费,且大幅提高制作成本。
此外,该晶片11需经由各该线路层131才能电性连接外部的电子元件,导致讯号传递路径冗长,因而降低该半导体封装件1的电性效能。
因此,如何克服上述现有技术的种种问题,实已成目前亟欲解决的课题。
发明内容
鉴于上述现有技术的种种缺失,本发明提供一种半导体封装件及其制法,能避免将半导体封装件整体报废而造成材料浪费的问题。
本发明的半导体封装件,包括:封装层,其具有相对的第一表面与第二表面,且该封装层的第一表面上具有至少一开口;线路层,其形成于该封装层的第一表面且嵌埋于该封装层中;以及至少一电子元件,其设于该开口中并外露出该第一表面。
前述的半导体封装件中,该开口未连通至该第二表面。
前述的半导体封装件中,该电子元件未外露出该第二表面。
本发明还提供一种半导体封装件的制法,其包括:提供一具有线路层的承载件;形成至少一阻块于该承载件上;形成一具有相对的第一表面及第二表面的封装层于该承载件上,使该封装层包覆该线路层与该阻块,且该第一表面结合于该承载件上;移除该承载件与该阻块,以令该封装层的第一表面上形成开口;以及设置至少一电子元件于该开口中。
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