[发明专利]一种厚度可测的液体自流成膜装置

权利要求书

1.一种厚度可测的液体自流成膜装置，其特征在于：所述装置包括：

成膜室；

至少一组位于成膜室内的成膜板组，所述成膜板组由两个成膜直面(401)相对的成膜板(400)组成，按成膜直面(401)平行于重力方向设置所述成膜板(400)，所述成膜直面(401)为被希望成膜于其上的面；

控制装置，用于控制成膜板组中至少一个成膜板(400)在垂直于重力方向的方向上移动；

检测装置，用于检测成膜板组中两个成膜板(400)在垂直于重力方向的方向上移动的距离；

位移控制装置，用于控制成膜板组中成膜板(400)在垂直于重力方向的方向上移动的距离。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述成膜板(400)包括成膜直面(401)和与成膜直面(401)相连接的用于使成膜原料液体流至成膜直面(401)的导流面(402)。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于：所述成膜直面(401)与导流面(402)互成夹角连接。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于：所述导流面(402)为直面。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于：所述导流面(402)与成膜直面(401)间的夹角为0～90°。

6.根据权利要求1～5任一项所述的装置，其特征在于：所述控制装置包括：动力装置和与动力装置配合使用的传动装置，所述传动装置包括：

至少两组导轨(500)，按平行于成膜板(400)移动的方向设置所述导轨(500)；

与导轨配合使用的滑块(600)，所述滑块(600)固定在成膜板(400)上；

丝杠传动装置，所述丝杠传动装置包括与动力装置相连的丝杠(900)和与成膜板(400)相固定的丝杠螺母(800)，且按平行于成膜板(400)移动的方向设置所述丝杠(900)。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于：所述丝杠(900)一端穿过固定于成膜室侧壁(200)的固定板(300)并连接动力装置，另一端穿过丝杠螺母(800)，所述丝杠螺母(800)通过连接件(700)固定于成膜板(400)上。

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于：所述成膜板(400)包括固定部(403)，所述滑块(600)与成膜板(400)的固定部(403)相固定。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：控制装置，用于控制成膜板组中两个成膜板(400)在垂直于重力方向的方向上相向或相背移动。