[发明专利]排气系统

权利要求书

1.一种排气系统，用于对一工艺操作空间进行排气，所述工艺操作空间包括 一出入口，其特征在于，所述排气系统包括：

排气设备，用于对所述工艺操作空间进行排气；

控制设备，用于检测所述出入口为打开或者关闭状态；所述控制设备还用 于在检测到所述出入口为打开时控制所述排气设备打开，在检测到所述出 入口为关闭时，控制所述排气设备关闭。

2.如权利要求1所述的排气系统，其特征在于，所述控制设备包括：

感应开关，位于所述出入口的位置处，在感应出入口为打开状态时输出第 一信号，在感应出入口为关闭状态时输出第二信号；

控制器，用于在接收到所述第一信号时控制所述排气设备打开，在接收到 所述第二信号时控制所述排气设备关闭。

3.如权利要求2所述的排气系统，其特征在于，所述出入口包括一门体，所 述感应开关用于检测所述门体为打开或关闭状态，还用于在所述门体打开 时输出所述第一信号以触发所述控制器打开所述排气设备，在所述门体关 闭时输出所述第二信号以触发所述控制器关闭所述排气设备。

4.如权利要求3所述的排气系统，其特征在于，所述门体上固定有一挡板， 所述挡板能够随着所述门体移动；

所述感应开关为压感式感应开关，所述压感式感应开关在检测到所述挡板 施加的压力时发出所述第二信号，在没有检测到所述挡板施加的压力时， 发出所述第一信号。

5.如权利要求4所述的排气系统，其特征在于，所述挡板为截面呈L形的弯 折结构，L形的弯折结构包括一固定部，所述挡板通过所述固定部与所述 门体固定；所述L形的弯折结构还包括一遮挡部，所述遮挡部用于对所述 压感式感应开关施加压力。

6.如权利要求4所述的排气系统，其特征在于，所述挡板通过焊接或者螺钉 与所述门体固定连接。

7.如权利要求2所述的排气系统，其特征在于，所述感应开关为红外线感应 开关。

8.如权利要求7所述的排气系统，其特征在于，所述感应开关包括沿出入口 的出入方向依次设置的两个红外线感应开关。

9.如权利要求1所述的排气系统，其特征在于，所述工艺操作空间内设有一 凹陷的地坑，所述地坑用于放置热等静压装置；

所述排气设备包括一排气管，所述排气管包括一进气端口以及一排气端口， 进气端口处的气体经由排气管引导至所述排气端口并排出；

所述进气端口设于所述地坑中，所述排气端口设于工艺操作空间外。

10.如权利要求1所述的排气系统，其特征在于，所述排气系统还包括一氧气 浓度检测仪，放置于所述工艺操作空间中，用于检测所述工艺操作空间内 的氧气浓度。