[发明专利]排气系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，具体涉及一种排气系统。

背景技术

现有的半导体生产加工过程中可能会产生一些废气，废气长期驻留可能 影响在场工作人员的身体健康，因此需要用到排气设备对一些场所进行排气。 但是现有的排气系统仍然难以做到有效排气，这会导致工作人员受到影响， 严重的还会影响工作人员的人身安全。

因此，如何提高排气系统的排气效果，进而保证工作人员的人身安全， 成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种排气系统，可根据出入口是否有物体经过 进而自动打开或者关闭，以保证工作人员的人身安全。

为解决上述问题，本发明提供一种排气系统，用于对一工艺操作空间进 行排气，所述工艺操作空间包括一出入口，所述排气系统包括：

排气设备，用于对所述工艺操作空间进行排气；

控制设备，用于检测所述出入口为打开或者关闭状态；所述控制设备还 用于在检测到所述出入口为打开时控制所述排气设备打开，在检测到所述出 入口为关闭时，控制所述排气设备关闭。

可选的，所述控制设备包括：

感应开关，位于所述出入口的位置处，在感应出入口为打开状态时输出 第一信号，在感应出入口为关闭状态时输出第二信号；

控制器，用于在接收到所述第一信号时控制所述排气设备打开，在接收 到所述第二信号时控制所述排气设备关闭。

可选的，所述出入口包括一门体，所述感应开关用于检测所述门体为打 开或关闭状态，还用于在所述门体打开时输出所述第一信号以触发所述控制 器打开所述排气设备，在所述门体关闭时输出所述第二信号以触发所述控制 器关闭所述排气设备。

可选的，所述门体上固定有一挡板，所述挡板能够随着所述门体移动；

所述感应开关为压感式感应开关，所述压感式感应开关在检测到所述挡 板施加的压力时发出所述第二信号，在没有检测到所述挡板施加的压力时， 发出所述第一信号。

可选的，所述挡板为截面呈L形的弯折结构，L形的弯折结构包括一固 定部，所述挡板通过所述固定部与所述门体固定；所述L形的弯折结构还包 括一遮挡部，所述遮挡部用于对所述压感式感应开关施加压力。

可选的，所述挡板通过焊接或者螺钉与所述门体固定连接。

可选的，所述感应开关为红外线感应开关。

可选的，所述感应开关包括沿出入口的出入方向依次设置的两个红外线 感应开关。

可选的，所述工艺操作空间内设有一凹陷的地坑，所述地坑用于放置热 等静压装置；

所述排气设备包括一排气管，所述排气管包括一进气端口以及一排气端 口，进气端口处的气体经由排气管引导至所述排气端口并排出；

所述进气端口设于所述地坑中，所述排气端口设于工艺操作空间外。

可选的，所述排气系统还包括一氧气浓度检测仪，放置于所述工艺操作 空间中，用于检测所述工艺操作空间内的氧气浓度。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

通过控制设备的感应开关检测工艺操作空间的出入口是否有物体经过， 进而控制所述排气设备的开关，进而可以在有工作人员进入所述工艺操作空 间时开启排气设备，这样可以有效地预防工作人员进入工艺操作空间时忘记 打开排气设备，进而导致原本应当被排出的气体滞留在所述工艺操作空间内， 进而导致操作人员身体不适甚至缺氧窒息等情况。

进一步，通过感应开关检测所述工艺操作空间出入口的门体上是否打开， 当操作人员进入所述工艺操作空间将所述门体打开时，所述控制设备控制所 述排气设备打开，以开始排气作业，保证工艺操作空间内操作人员的人身安 全；当操作人员离开操作场所将门体关闭时，所述控制设备控制所述排气设 备关闭，这样不会造成能源浪费。

附图说明

图1至图4是本发明排气系统一实施例的结构示意图；

图5为本发明排气系统第二实施例的结构示意图；

图6为本发明排气系统第三实施例的结构示意图。

具体实施方式