[发明专利]一种芯片专用清洗治具在审
| 申请号： | 201410516166.9 | 申请日： | 2014-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN104289490A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 周天毫 | 申请（专利权）人： | 苏州速腾电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215129 江苏省苏州市高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 专用 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种芯片专用清洗治具，包括底板和侧板，所述侧板包括平行的第一侧板和第二侧板、与第一侧板垂直的第三侧板和第四侧板，其特征在于，所述底板上设置有多个横板和多个竖板，所述横板与第一侧板平行，所述竖板与第三侧板平行，所述横板的两侧均连接有多个与横板垂直的限位板，第一侧板和第二侧板朝里的一侧也连接有与第一侧板垂直的限位板。
2.根据权利要求1所述的一种芯片专用清洗治具，其特征在于，所述底板有多个，互相平行设置，所述第三侧板和第四侧板上开有多个相对的凹槽，可同时放置多个底板。
3.根据权利要求1所述的一种芯片专用清洗治具，其特征在于，所述限位板的上端为斜面。
4.根据权利要求1所述的一种芯片专用清洗治具，其特征在于，所述一个横板上的多个限位板之间的间隔相等。
5.根据权利要求1或4所述的一种芯片专用清洗治具，其特征在于，所述不同横板上的限位板的长度相等。
6.根据权利要求1所述的一种芯片专用清洗治具，其特征在于，所述竖板上开有网格状通孔。
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