[发明专利]一种芯片专用清洗治具

说明书

技术领域

本发明涉及一种清洗装置，尤其涉及一种芯片专用清洗治具。

背景技术

芯片清洗是每一个芯片制备过程中必不可少的过程，其目的在于使芯片表面的污染物尽可能地降低，使得元件获得良好而稳定的特性，以及使制程具有良好的再现性。

申请号为201310311113.9的《一种LED芯片清洗提篮》公开了一种LED芯片清洗提篮。清洗提篮包括：抓取板、调整板、调整螺钉、前后板、固定板，前后板与两个固定板组成提篮主体，前后板与固定底部设有调整板，调整板一端通过圆轴固定在前后板上，另一端通过调整螺钉连接在固定板上，调整板角度通过调整螺钉，其倾斜角度可在 0°-6°之间任意调节 ；前后板上端设有抓取板，用于抓取提篮。该提篮清洗效果好，但容易对芯片表面造成磨损。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，而提供一种芯片专用清洗治具。

本发明是通过以下技术方案来完成的：

一种芯片专用清洗治具，包括底板和侧板，所述侧板包括平行的第一侧板和第二侧板、与第一侧板垂直的第三侧板和第四侧板，所述底板上设置有多个横板和多个竖板，所述横板与第一侧板平行，所述竖板与第三侧板平行，所述横板的两侧均连接有多个与横板垂直的限位板，第一侧板和第二侧板朝里的一侧也连接有与第一侧板垂直的限位板。

所述的一种芯片专用清洗治具，所述底板有多个，互相平行设置，所述第三侧板和第四侧板上开有多个相对的凹槽，可同时放置多个底板。

所述的一种芯片专用清洗治具，所述限位板的上端为斜面。

所述的一种芯片专用清洗治具，所述一个横板上的多个限位板之间的间隔相等。

所述的一种芯片专用清洗治具，所述不同横板上的限位板的长度相等。

所述的一种芯片专用清洗治具，所述竖板上开有网格状通孔。

本发明所达到的有益效果：本发明的治具对芯片清洗的效果好且损伤小，一次可清洗多个芯片，限位板对芯片起限位作用，在清洗时，芯片不会随着清洗液流动而与治具侧板或者芯片互相之间发生摩擦，减少对芯片的损害，限位板之间的间隔可以充分让清洗液接触芯片。

附图说明

图1为本发明的俯视图。

图2为图1的AA向剖视图。

图中：1、底板，21、第一侧板，22、第二侧板，23、第三侧版，24、第四侧板，3、横板，4、竖板，5、限位板，6、网格状通孔。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。

如图所示，本发明的一种芯片专用清洗治具，包括底板1和侧板，所述侧板包括平行的第一侧板21和第二侧板22、与第一侧板21垂直的第三侧板23和第四侧板24，所述底板1上设置有多个横板3和多个竖板4，所述横板3与第一侧板21平行，所述竖板4与第三侧板23平行，所述横板3的两侧均连接有多个与横板2垂直的限位板5，第一侧板21和第二侧板22朝里的一侧也连接有与第一侧板21垂直的限位板5。所述限位板5的上端为斜面。所述一个横板3上的多个限位板5之间的间隔相等。所述不同横板3上的限位板5的长度相等。所述竖板4上开有网格状通孔6。

限位板5上端为斜面方便取放芯片；竖版4上的网格状通孔6，可以充分让清洗液进入治具，多个限位板5之间的间隔相等，限位板5的长度相等，方便制作。

图1和2所示的为只有一层底板的治具的示意图，但是底板1可以有多个，多个底板互相平行设置，在第三侧板23和第四侧板24上开有多个相对的凹槽（未示出），则可同时放置多个底板1。底板1为多个即可增加一次清洗芯片的量，由于底板1可放置在第三侧板23和第四侧板24上开有多个相对的凹槽（未示出）上，则根据清洗的数量选择底板1的多少；

本发明的治具在使用时，将芯片置于横板3上的限位板5之间，限位板对芯片起一个限位作用，即可将治具置于超声波清洗机中进行清洗。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本发明的保护范围。