[发明专利]一种新型坩埚无效
| 申请号： | 201410516320.2 | 申请日： | 2014-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN104233197A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 陈学兵 | 申请（专利权）人： | 苏州普京真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;F27B14/10 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 刘述生 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型坩埚，其特征在于，包括坩埚本体、底部中间加热通道、侧面加热通道和连接法兰，所述底部中间加热通道设置在坩埚本体底部，所述侧面加热通道设置在坩埚本体侧面并且与底部中间加热通道相连接，所述坩埚本体与底部加热通道之间设置有一散热室，所述坩埚本体成方型状，所述连接法兰设置在坩埚本体上端口处。
2.根据权利要求1所述的新型坩埚，其特征在于，所述侧面加热通道包括正面加热通道、背面加热通道、左侧加热通道及右侧加热通道，所述正面加热通道及背面加热通道分别设置在坩埚本体前后面上，所述左侧加热通道及右侧加热通道分别设置在坩埚本体的左右两个侧面。
3.根据权利要求1所述的新型坩埚，其特征在于，所述散热室内上下间距为35～45mm。
4.根据权利要求1所述的新型坩埚，其特征在于，所述连接法兰与坩埚本体一次加工成型。
5.根据权利要求1所述的新型坩埚，其特征在于，所述连接法兰上面设置有T型槽。
6.根据权利要求1所述的新型坩埚，其特征在于，所述坩埚本体底部三分之一处设置有防粘涂层。
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