[发明专利]一种新型坩埚无效
申请号: | 201410516320.2 | 申请日: | 2014-09-30 |
公开(公告)号: | CN104233197A | 公开(公告)日: | 2014-12-24 |
发明(设计)人: | 陈学兵 | 申请(专利权)人: | 苏州普京真空技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;F27B14/10 |
代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 刘述生 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 坩埚 | ||
技术领域
本发明涉及坩埚,特别是涉及一种新型坩埚。
背景技术
现有的蒸镀或冶炼工艺中通常利用坩埚容纳蒸镀材料,在蒸镀材料的过程中,由于坩埚加热时采用底部加热,所示坩埚内部材料各处的温度不一致,导致蒸镀材料受热不均匀,容易发生蒸镀材料局部喷溅,影响蒸镀成品的良品率,或者在蒸镀或冶炼时,刚过内部材料部分喷溅、而部分材料却还未受热蒸发、坩埚底部材料由于温度过高又容易粘接等确点。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种新型坩埚,可防止坩埚内物体在蒸发或加热时因受热不均匀而导致部分物体蒸发,而另一部分物体还留在坩埚内部或者粘接在坩埚底部,有效的解决了坩埚内材料浪费、坩埚清洗困难、清洗不干净等缺点。
为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供一种新型坩埚,包括坩埚本体、底部中间加热通道、侧面加热通道和连接法兰,所述底部中间加热通道设置在坩埚本体底部,所述侧面加热通道设置在坩埚本体侧面并且与底部中间加热通道相连接,所述坩埚本体与底部加热通道之间设置有一散热室,所述坩埚本体成方型状,所述连接法兰设置在坩埚本体上端口处。
在本发明一个较佳实例中,所述侧面加热通道包括正面加热通道、背面加热通道、左侧加热通道及右侧加热通道,所述正面加热通道及背面加热通道分别设置在坩埚本体前后面上,所述左侧加热通道及右侧加热通道分别设置在坩埚本体的左右两个侧面。
在本发明一个较佳实例中,所述散热室内上下间距为35~45mm。
在本发明一个较佳实例中,所述连接法兰与坩埚本体一次加工成型。
在本发明一个较佳实例中,所述连接法兰上面设置有T型槽。
在本发明一个较佳实例中,所述坩埚本体底部三分之一处设置有防粘涂层。
本发明的有益效果是:本发明一种新型坩埚,可防止坩埚内物体在蒸发或加热时因受热不均匀而导致部分物体蒸发,而另一部分物体还留在坩埚内部或者粘接在坩埚底部,有效的解决了坩埚内材料浪费、坩埚清洗困难、清洗不干净等缺点。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图,其中:
图1是本发明一种新型坩埚一较佳实施例的结构示意图;
图2是图1的左视图;
图3是图1的俯视图。
附图中各部件的标记如下:1、埚本,2、底部中间加热通道,3、正面加热通道,4、背面加热通道,5、左侧加热通道,6、右侧加热通道,7、散热室,8、连接法兰,9、T型槽。
具体实施方式
下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明实施例包括:
请参阅图1至图3,一种新型坩埚,包括坩埚本体1、底部中间加热通道2、正面加热通道3、背面加热通道4、左侧加热通道5、右侧加热通道6、散热室7、连接法兰8,所述底部中间加热通道2设置在坩埚本体1底部,所述正面加热通道3及背面加热通道4分别设置在坩埚本体1前后面上,所述左侧加热通道5及右侧加热通道6分别设置在坩埚本体1的左右两个侧面,所述坩埚本体1与底部加热通道2之间设置有一散热室7,所述各加热管道相通。
上述中,所述底部加热通道2内进入的热量分别从正面加热通道3、背面加热通道4、左侧加热通道5、右侧加热通道6内对坩埚进行加热,而由于底部热量最多,所以散热室7可以使热量均匀散发,保证坩埚本体内部物料均与受热。
进一步,所述散热室内上下间距为35~45mm,通过反复实验,得到散热室的间距为35~45mm时,坩埚本体1底部的温度与四个侧面的温度均衡。
进一步,所述连接法兰8与坩埚本体1一次加工成型,且连接法兰上面设置有T型槽9,方便安装拎手。
进一步,所述坩埚本体1底部三分之一处设置有防粘涂层(图中未示出),主要用来防止物料粘接,坩埚难以清洗。
本发明的有益效果是:本发明一种新型坩埚,可防止坩埚内物体在蒸发或加热时因受热不均匀而导致部分物体蒸发,而另一部分物体还留在坩埚内部或者粘接在坩埚底部,有效的解决了坩埚内材料浪费、坩埚清洗困难、清洗不干净等缺点。
以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其它相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。
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