[发明专利]一种大电流高压硅堆清洗工艺有效
申请号: | 201410519539.8 | 申请日: | 2014-09-30 |
公开(公告)号: | CN104269350B | 公开(公告)日: | 2017-01-25 |
发明(设计)人: | 黄丽凤;王志敏;张龙 | 申请(专利权)人: | 如皋市大昌电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;B08B3/12 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙)11316 | 代理人: | 滑春生 |
地址: | 226500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电流 高压 清洗 工艺 | ||
技术领域
本发明涉及一种大电流高压硅堆清洗工艺。
背景技术
高压硅堆由多只高压整流二极管(硅粒)串联组成,是高压整流中将交流变成直流必不可少的原件。由于高压整流是以阴极射线扫描的方式呈现图像的屏幕(包括老式电视机,电脑屏幕)中必不可少的部分。有很多厂家生产高压硅堆。电压从1KV~1000KV; 电流从1mA~100A不等。
目前,在行业生产中,对于电流在350mA以上的高压硅堆称为大电流高压硅堆。对于大电流高压硅堆在生产的过程中,会有一道焊接工序,而在焊接工序后,在大电流高压硅堆表面长会附着有焊油、灰尘、水汽等杂质,如果直接将这样的高压硅堆作为成品使用,会对其耐久性、可靠性等性能造成影响,因此研究出一种大电流高压硅堆清洗工艺以去除其表面的杂质势在必行。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种能够很好的将高压硅堆表面的杂质清洗的大电流高压硅堆清洗工艺。
为解决上述技术问题,本发明的技术方案为:一种大电流高压硅堆清洗工艺,其创新点在于:所述步骤为:
a)首先,利用机械臂将高压硅堆放入HF溶液中浸泡,浸泡的时间t1=84s±1s;
b)将经过HF溶液浸泡后的高压硅堆放入溢水中清洗;
c)然后,利用机械臂将高压硅堆放入KOH溶液中进行清洗;
d)将经过KOH溶液浸泡后的高压硅堆进行喷淋处理,喷淋的时间t2=300s±5s;
e)将经过喷淋后的高压硅堆放入溢水中清洗;
f)再将高压硅堆利用EDTA-2Na超声清洗,清洗的时间t3=84s±1s;
g)将经过EDTA-2Na超声清洗后的高压硅堆进行溢水清洗;
h)将高压硅堆进行丙酮脱水处理;
i)最后,利用热N2将高压硅堆吹干。
进一步的,所述步骤b中溢水清洗一共有两道清洗工序,分别为一级溢水清洗及二级溢水清洗,其中一级溢水清洗的时间t4=300s±5s,二级溢水清洗的时间t5=300s±5s。
进一步的,所述步骤c中KOH溶液清洗一共有两道工序,分别为第一级KOH溶液清洗及第二级KOH溶液清洗,其中第一级KOH溶液清洗的时间t6=84s±1s,温度T1=84℃±4℃,第二级KOH溶液清洗的时间t7=84s±1s,温度T2=84℃±4℃。
进一步的,所述步骤e中的溢水清洗一共有两道清洗工序,分别为一级溢水清洗及二级溢水清洗,其中一级溢水清洗的时间t8=300s±5s,二级溢水清洗的时间t9=300s±5s。
进一步的,所述步骤g中的溢水清洗一共有两道清洗工序,分别为一级溢水清洗及二级溢水清洗,其中一级溢水清洗的时间t10=300s±5s,二级溢水清洗的时间t11=300s±5s。
进一步的,所述一级溢水清洗与二级溢水清洗之间还增设有超声清洗工序,超声清洗的时间t12=300s±5s。
进一步的,所述步骤h中的丙酮脱水处理一共有两道工序,分别为一级丙酮脱水处理及二级丙酮脱水处理,其中一级丙酮脱水处理的时间t13=300s±5s,二级丙酮脱水处理的时间t14=300s±5s。
本发明的优点在于:利用本工艺对焊接后的大电流高压硅堆进行清沟,可以很好的去除附着在高压硅堆表面的焊油、水汽等杂质,相应的增加其耐久性及可靠性。
具体实施方式
本发明的大电流高压硅堆清洗工艺包括以下几个步骤:
第一步,首先,利用机械臂将高压硅堆放入HF溶液中浸泡,浸泡的时间t1=84s±1s。
第二步,将经过HF溶液浸泡后的高压硅堆放入溢水中清洗。
在本步骤中,溢水清洗一共有两道清洗工序,分别为一级溢水清洗及二级溢水清洗,其中一级溢水清洗的时间t4=300s±5s,二级溢水清洗的时间t5=300s±5s。
第三步,然后,利用机械臂将高压硅堆放入KOH溶液中进行清洗。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造