[发明专利]托盘的旋转连接组件以及应用其的反应腔室

权利要求书

1.一种托盘的旋转连接组件，包括固定在所述托盘底部中心位置的第一连接件，和固定在用于带动所述托盘旋转的旋转轴顶部的第二连接件，二者相互配合，以实现所述托盘与所述旋转轴的连接和对中，其特征在于，所述第一连接件和第二连接件相互配合的两个配合面中的每一个配合面包括至少两个斜面，以及数量与所述斜面相同的定位面，所述斜面和定位面沿所述旋转轴的周向相间排列，形成一个环形曲折面；其中，

每个斜面沿所述旋转轴的周向呈圆柱螺旋状向下倾斜，每个斜面沿与所述旋转轴一个指定旋转方向相反的方向呈圆柱螺旋状向下倾斜；并且，

所述第二连接件的配合面中的各个定位面的朝向与所述指定旋转方向的切线分矢量一致，且所述第一连接件的配合面中的各个定位面一一对应地与第二连接件的配合面中的各个定位面相对。

2.根据权利要求1所述的托盘的旋转连接组件，其特征在于，在所述第一连接件的底部，且位于所述环形曲折面的内侧设置有中心孔，且所述环形曲折面相对于所述中心孔的底端突出；

在所述第二连接件的顶部，且位于所述环形曲折面的内侧设置有中心轴，所述中心轴相对于所述环形曲折面的顶端突出；

所述中心孔与所述中心轴相互配合。

3.根据权利要求2所述的托盘的旋转连接组件，其特征在于，所述中心轴的顶端端面包括锥面，所述锥面的轴线与所述旋转轴的轴线同轴。

4.根据权利要求1所述的托盘的旋转连接组件，其特征在于，在所述第二连接件的顶部，且位于所述环形曲折面的内侧设置有中心孔，且所述环形曲折面相对于所述中心孔的顶端突出；

在所述第一连接件的底部，且位于所述环形曲折面的内侧设置有中心轴，所述中心轴相对于所述环形曲折面的底端突出；

所述中心孔与所述中心轴相互配合。

5.根据权利要求4所述的托盘的旋转连接组件，其特征在于，所述中心轴的底端端面包括锥面，所述锥面的轴线与所述旋转轴的轴线同轴。

6.根据权利要求1所述的托盘的旋转连接组件，其特征在于，所述斜面的倾角与摩擦系数之间的函数关系为：

tanα＞μ

其中，α为所述斜面的倾角；μ为所述斜面的摩擦系数。

7.根据权利要求6所述的托盘的旋转连接组件，其特征在于，所述斜面的倾角的取值范围在15°～60°。

8.根据权利要求6所述的托盘的旋转连接组件，其特征在于，所述斜面的摩擦系数为0.2～1。

9.根据权利要求1所述的托盘的旋转连接组件，其特征在于，在所述斜面上设置有润滑涂层，用以减小所述斜面的摩擦系数。

10.一种反应腔室，在所述反应腔室内设置有用于承载被加工工件的托盘，用于带动所述托盘旋转的旋转轴以及用于连接二者的旋转连接组件，其特征在于，所述旋转连接组件采用权利要求1-9任意一项所述的旋转连接组件。