[发明专利]一种掩膜框架、掩膜板及其制作方法有效
| 申请号： | 201410540132.3 | 申请日： | 2014-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN104298069A | 公开（公告）日： | 2015-01-21 |
| 发明（设计）人： | 吴海东;金泰逵;白娟娟;马群 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F1/64 | 分类号： | G03F1/64 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 框架 掩膜板 及其 制作方法 | ||
1.一种掩膜框架，其特征在于，包括框架主体、弹性装置以及位于框架主体相对的两侧的两个固定部，每个所述固定部通过所述弹性装置与所述框架主体连接固定。
2.根据权利要求1所述的掩膜框架，其特征在于，所述固定部通过多个弹性装置与所述框架主体连接固定，且多个弹性装置在框架主体相对的两侧均匀分布。
3.根据权利要求2所述的掩膜框架，其特征在于，位于所述框架主体相对两侧的多个弹性装置相互错位设置。
4.根据权利要求2所述的掩膜框架，其特征在于，所述框架主体可用于支撑掩膜条，以使得所述掩膜条与所述固定部连接固定，所述弹性装置与所述掩膜条在框架主体的安装位置一一对应。
5.根据权利要求1所述的掩膜框架，其特征在于，所述固定部与所述框架主体的材质相同。
6.根据权利要求1)5任一项所述的掩膜框架，其特征在于，所述弹性装置为弹簧。
7.一种掩膜板，其特征在于，包括多个掩膜条以及权利要求1)6任一项所述的掩膜框架，所述掩膜条相对的两端分别与位于框架主体相对两侧的固定部固定。
8.一种掩膜板的制作方法，其特征在于，包括：挤压固定部，弹性装置发生弹性形变以使得所述固定部靠近框架主体，将掩膜条与所述固定部连接固定，取消挤压。
9.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于，在将掩膜条与所述固定部连接固定之前，所述方法还包括：拉伸掩膜条。
10.根据权利要求8或9所述的制作方法，其特征在于，所述掩膜条与所述固定部焊接固定。
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G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
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