[发明专利]干泵安全停止装置及其使用方法以及干泵系统

权利要求书

1.一种干泵安全停止装置，所述干泵包括一手摇接口，其特征在于，所述干泵安全停止装置包括：

通过所述手摇接口与所述干泵连接的联轴器；

设置于所述联轴器上的马达以及离合器，所述离合器位于所述马达与手摇接口之间；以及

与所述马达以及离合器连接的控制器；

其中，所述干泵正常运转时，所述控制器控制所述离合器处于分离状态，并控制所述马达不运转；所述干泵发生异常时，所述控制器控制所述离合器处于连接状态，并控制所述马达运转，以带动所述干泵运转。

2.如权利要求1所述的干泵安全停止装置，其特征在于，所述干泵安全停止装置还包括一减速机和一支架，所述减速机设置于所述联轴器上并与所述马达连接，所述支架用以支撑所述减速机。

3.如权利要求1所述的干泵安全停止装置，其特征在于，所述马达是减速马达。

4.如权利要求1所述的干泵安全停止装置，其特征在于，所述马达是直流马达。

5.如权利要求1所述的干泵安全停止装置，其特征在于，所述干泵安全停止装置还包括一电池，所述电池用于为所述马达以及控制器供电。

6.如权利要求1至5中任一项所述的干泵安全停止装置，其特征在于，所述控制器还连接一主设备的控制柜，所述控制器根据所述控制柜发送的信号控制所述离合器和马达。

7.如权利要求1至5中任一项所述的干泵安全停止装置，其特征在于，所述控制器还连接所述干泵，所述控制器根据所述干泵发送的信号控制所述离合器和马达。

8.如权利要求1至5中任一项所述的干泵安全停止装置，其特征在于，所述主设备是化学气相沉积设备或干法刻蚀设备。

9.一种干泵系统，包括至少一个干泵，其特征在于，还包括至少一个如权利要求1至8中任一项所述的干泵安全停止装置。

10.一种如权利要求1所述的干泵安全停止装置的使用方法，其特征在于，包括：

所述干泵正常运转时，所述控制器控制所述离合器处于分离状态，并控制所述马达不运转；以及

所述干泵发生异常时，所述控制器控制所述离合器处于连接状态，并控制所述马达运转，以带动所述干泵运转。