[发明专利]干泵安全停止装置及其使用方法以及干泵系统

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路制造领域，特别涉及一种干泵安全停止装置及其使用方法以及干泵系统。 

背景技术

平板显示器(FPD)行业中，干泵通常使用在化学气相沉积(CVD)、干法刻蚀(Dry Etch)等工艺制程中，由于工艺制程环境恶劣例如具有较多粉尘，干泵不允许异常停止，一旦干泵异常停止，粉尘等污染物会附着在干泵的转子上，很容易导致干泵卡死异常。 

目前，为解决干泵异常停止的问题，业界通常的做法是在干泵异常停止后使用UPS电源保持干泵正常运转或安全停止，但干泵本身运行功率较大，UPS电源较贵，成本较高。另一种做法是工作人员手动摇动干泵，以保持干泵正常运转，然而干泵数量较多，若手动摇动干泵，往往不能保证干泵及时和充分的摇动，仍然容易造成干泵卡死异常。 

因此，提供一种能够实现干泵自动、安全停止的装置是十分必要的。 

发明内容

本发明提供一种干泵安全停止装置，以解决干泵卡死异常的问题。 

为解决上述技术问题，本发明提供一种干泵安全停止装置，所述干泵包括一手摇接口，所述干泵安全停止装置包括： 

通过所述手摇接口与所述干泵连接的联轴器； 

设置于所述联轴器上的马达以及离合器，所述离合器位于所述马达与手摇接口之间；以及 

与所述马达以及离合器连接的控制器； 

其中，所述干泵正常运转时，所述控制器控制所述离合器处于分离状态，并控制所述马达不运转；所述干泵发生异常时，所述控制器控制所述离合器处于连接状态，并控制所述马达运转，以带动所述干泵运转。 

可选的，在所述的干泵安全停止装置中，所述干泵安全停止装置还包括一减速机，所述减速机设置于所述联轴器上并与所述马达连接。 

可选的，在所述的干泵安全停止装置中，所述干泵安全停止装置还包括一支架，所述支架用以支撑所述减速机。 

可选的，在所述的干泵安全停止装置中，所述马达是减速马达。 

可选的，在所述的干泵安全停止装置中，所述马达是直流马达。 

可选的，在所述的干泵安全停止装置中，所述干泵安全停止装置还包括一电池，所述电池用于为所述马达以及控制器供电。 

可选的，在所述的干泵安全停止装置中，所述控制器还连接一主设备的控制柜，所述控制器根据所述控制柜发送的信号控制所述离合器和马达。 

可选的，在所述的干泵安全停止装置中，所述主设备是化学气相沉积设备或干法刻蚀设备。 

本发明还提供一种干泵系统，包括一干泵，还包括如上所述的干泵安全停止装置。 

本发明又提供一种干泵安全停止装置的使用方法，包括： 

所述干泵正常运转时，所述控制器控制所述离合器处于分离状态，并控制所述马达不运转；以及 

所述干泵发生异常时，所述控制器控制所述离合器处于连接状态，并控制所述马达运转，以带动所述干泵运转。 

采用本发明的干泵安全停止装置，所述干泵正常运转时，所述控制器控制所述离合器处于分离状态，并控制所述马达不运转；所述干泵发生异常时，所述控制器控制所述离合器处于连接状态，并控制所述马达运转，以带动所述干泵运转，从而避免干泵由于异常停止而卡死。 

附图说明

图1为本发明干泵系统的结构示意图。 

具体实施方式

下面将结合示意图对本发明进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。 

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。 

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。