[发明专利]一种无运动部件实现大面积均匀镀膜的装置

权利要求书

1.一种无运动部件大面积均匀镀膜的装置，其特征在于：由位于衬底上方的1-20组喷嘴组构成，喷头组的数量根据衬底的幅面大小来决定且要让雾化液滴的覆盖面大于衬底的宽度，每个喷嘴组由液体喷嘴和两个气体喷嘴组成，气体喷嘴在液体喷嘴的下方两侧，与垂直方向呈45°角对称设置，每一侧的气体喷嘴开启和关闭同步。

2.根据权利要求1所述无运动部件大面积均匀镀膜的装置，其特征在于：所述衬底为玻璃、木材、塑料、不锈钢板、铝板、铜板或铁板，衬底形状为平板、曲面板、圆筒或凹凸不平的表面，衬底在水平方向上的运动速率的范围为1-30m/分钟。

3.根据权利要求1所述无运动部件大面积均匀镀膜的装置，其特征在于：所述液体喷嘴为气体喷头或者超声喷雾喷头。

4.根据权利要求1所述无运动部件大面积均匀镀膜的装置，其特征在于：所述气体喷头的气体为压缩空气或瓶装的氮气、氧气，气体气压为0.1-3Mpa；气体喷头的气孔直径为1-6mm，采用电磁阀或气动阀控制气体喷头的开关，气体喷嘴开关频率范围为0.1-5Hz，完成一个周期的时间为0.2-10秒。

5.根据权利要求1所述无运动部件大面积均匀镀膜的装置，其特征在于：所述喷嘴组的间距范围为：5-50cm。