[发明专利]摄像头内微米级异物提取装置及提取分析方法

权利要求书

1.一种摄像头内微米级异物提取装置，其特征在于，包括提取装置以及固定于所述提取装置上的钨针，所述钨针的尖端曲率半径为90～110nm。 

2.根据权利要求1所述微米级异物提取装置，其特征在于，所述钨针的尖端曲率半径为100nm。 

3.根据权利要求1或2所述摄像头内微米级异物提取装置，其特征在于，所述钨针的纯度为99.99％。

4.一种摄像头内微米级异物提取分析方法，其特征在于，采用权利要求1-3任一项所述摄像头内微米级异物提取装置进行，具体包括以下步骤： 

在金相显微镜下，利用物理吸附法用所述摄像头内微米级异物提取装置对微米级异物进行提取； 

将表面吸附异物的钨针置于扫描电镜SEM样品台上进行喷金处理； 

将喷金处理后表面吸附异物的钨针置于扫描电镜SEM设备中； 

利用X-射线能谱仪EDS对异物进行成分分析，将结果中W元素扣除，得到真实的异物成分。